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龙图腾网恭喜北京环境特性研究所申请的专利电感耦合等离子体电离度的测量校准方法和装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115499991B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211252315.6，技术领域涉及：H05H1/00；该发明授权电感耦合等离子体电离度的测量校准方法和装置是由孙金海;刘永强;蔡禾;张旭涛;朱先立设计研发完成，并于2022-10-13向国家知识产权局提交的专利申请。

本电感耦合等离子体电离度的测量校准方法和装置在说明书摘要公布了：本发明涉及电离度计算技术领域，特别涉及一种电感耦合等离子体电离度的测量校准方法和装置。方法包括：获取利用激光汤姆孙散射测量系统测得的待计算ICP发生器的第一管口气压和第一电子密度分布；基于验证好的ICP发生器的仿真模型、第一管口气压、第一电子密度分布和电子密度最大值，对ICP发生器进行气压校准，以得到ICP发生器内电子密度最大值处的第一真实气压；基于第一电子密度分布和第一真实气压，计算ICP发生器内的第一电离度；基于仿真模型和第一真实气压，对ICP发生器的等离子体反应过程进行仿真，得到ICP发生器内的第二电离度；利用第二电离度对第一电离度进行验证。本方案可以准确测量并校准电感耦合等离子体发生器内各个位置处的等离子体电离度。

本发明授权电感耦合等离子体电离度的测量校准方法和装置在权利要求书中公布了：1.一种电感耦合等离子体电离度的测量校准方法，其特征在于，包括：获取利用激光汤姆孙散射测量系统测得的待计算的ICP发生器进气口处的第一管口气压和第一电子密度分布；基于预先验证好的所述ICP发生器的仿真模型、所述第一管口气压、所述第一电子密度分布和所述第一电子密度分布中的电子密度最大值，对所述ICP发生器进行气压校准，以得到所述ICP发生器内电子密度最大值处的第一真实气压；基于所述第一电子密度分布和所述第一真实气压，计算所述ICP发生器内各个位置处的第一电离度；基于所述仿真模型和所述第一真实气压，对所述ICP发生器的等离子体反应过程进行仿真，得到所述ICP发生器内各个位置处的第二电离度；利用所述第二电离度对所述第一电离度进行验证，确定对所述第一电离度的校准结果。

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