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龙图腾网恭喜西安交通大学申请的专利一种基于高重频飞秒激光倾斜抛光碳化硅陶瓷的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115570271B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211174965.3，技术领域涉及：B23K26/352；该发明授权一种基于高重频飞秒激光倾斜抛光碳化硅陶瓷的方法是由梅雪松;郑庆振;姜歌东;闫兆暄;凡正杰;王文君;崔健磊;孙铮设计研发完成，并于2022-09-26向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于高重频飞秒激光倾斜抛光碳化硅陶瓷的方法在说明书摘要公布了：一种基于高重频飞秒激光倾斜抛光碳化硅陶瓷的方法，先将碳化硅陶瓷清洗干净，然后搭建光路，高重频飞秒激光器输出激光经过12波片、分光棱镜、第一反射镜、扩束器、小孔光澜、第二反射镜和振镜作用在三维移动平台的加工工位上，通过调节振动旋转器获得大的激光入射角，将碳化硅陶瓷固定在三维移动平台的加工工位上，通过调节三维移动平台将倾斜激光束聚焦到材料表面，利用计算机调节激光器输出不同的激光参数，通过计算机控制振镜的扫描速度和三维移动平台不同的移动方向对碳化硅陶瓷样品进行抛光；本发明采用高重频高功率低速度和低重频低功率高速度对碳化硅陶瓷表面进行多次抛光，抛光后陶瓷表面具有表面光滑度高、无裂纹、无孔洞的优点。

本发明授权一种基于高重频飞秒激光倾斜抛光碳化硅陶瓷的方法在权利要求书中公布了：1.一种基于高重频飞秒激光倾斜抛光碳化硅陶瓷的方法，其特征在于，包括以下步骤：1将碳化硅陶瓷分别用丙酮、无水乙醇和去离子水进行超声波清洗，然后利用氮气吹干得到干净的碳化硅陶瓷样品（9）；2搭建飞秒激光抛光光路系统，光路系统包括高重频飞秒激光器（1），高重频飞秒激光器（1）输出激光依次经过分12波片（2）、分光棱镜（4）、第一反射镜（5），第一反射镜（5）使光路转90˚后，激光光束再通过扩束器（6）和小孔光阑（7）,然后经由第二反射镜（12）进入振镜（10）倾斜照射在三维移动平台（8）的加工工位上，其中振镜（10）上连接的旋转器（11）用于调节振镜（10）的倾斜角度，高重频飞秒激光器（1）、振镜（10）、三维移动平台（8）、振动旋转器（11）和计算机（13）连接，利用12波片（2）、分光棱镜（4）和功率计（3）组合检测激光功率，同时计算机（13）控制振镜（10）进而控制激光的运动速度和轨迹；通过小孔光阑（7）调节通光孔大小，得到透过振镜（10）的烧蚀光斑半径；3）转动振动旋转器（11）将振镜（10）旋转相应角度，即控制激光光束与碳化硅陶瓷样品（9）水平面具有倾斜的夹角θ；4）将碳化硅陶瓷样品（9）固定到三维移动平台（8）上，三维移动平台（8）由置于X轴方向、Y轴方向和Z轴方向的三维运动机构构成，通过调节X轴、Y轴提供碳化硅陶瓷样品（9）抛光区域起始位置，X轴、Y轴和Z轴配合调节激光焦点在碳化硅陶瓷样品（9）的表面上；5利用计算机（13）调节高重频飞秒激光器（1）输出激光波长为1030nm，脉宽为240fs，重频为25-100kHz，激光功率为1-8W；6利用振镜（10）和三维移动平台（8）的Y轴协同配合规划扫描路径，其中振镜（10）控制抛光区域的宽度，扫描路径是一条直线，宽度方向的扫描沿X轴方向往复运动，设定加工速度和跳转速度相同，其重复次数由加工面积决定；三维移动平台（8）的Y轴控制抛光区域的长度，长度方向的进给速度由长度方向轨迹间隔、宽度方向的长度和扫描速度共同确定；7利用计算机（13）控制高重频飞秒激光器（1）的参数，同时利用计算机（13）分别控制振镜（10）和三维移动平台（8）进而控制激光在碳化硅陶瓷表面运动速度和轨迹，将1030nm波长的高重频飞秒激光照射在碳化硅陶瓷样品（9）上，振镜（10）控制激光在X轴方向移动，对碳化硅陶瓷进行抛光。

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