恭喜武汉光谷量子技术有限公司熊祎灵获国家专利权
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龙图腾网恭喜武汉光谷量子技术有限公司申请的专利一种SPAD同轴型TO器件及其制作方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115513334B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-18发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211143990.5,技术领域涉及:H10F71/00;该发明授权一种SPAD同轴型TO器件及其制作方法是由熊祎灵;于华伟;曾磊设计研发完成,并于2022-09-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种SPAD同轴型TO器件及其制作方法在说明书摘要公布了:本申请公开了一种SPAD同轴型TO器件及其制作方法,涉及同轴型光电器件技术领域,该制作方法包括:将SPAD进行管帽封焊后,安装至耦合焊接平台器件底座,获取SPAD的初始耦光位置;依次在多个预设的对准偏置电压下,通过逐行扫描方式获取每个耦光位置对应光生电流的三维分布,进而得到多个二维截面数据;基于每个对准偏置电压下的多个二维截面数据,获取满足预设条件的对准偏置电压作为初始耦光条件;在初始耦光条件下,当尾纤的入射光线汇聚于有源区几何中心位置、且轴向上汇聚于SPAD芯片吸收层内时,将尾纤和SPAD器件进行焊接,得到SPAD同轴型TO器件。本申请,可有效减小暗计数率,提升相同过偏压下的单光子探测效率。
本发明授权一种SPAD同轴型TO器件及其制作方法在权利要求书中公布了:1.一种SPAD同轴型TO器件制作方法,其特征在于,其包括步骤:将SPAD进行管帽封焊后,安装至耦合焊接平台器件底座,获取SPAD输出峰值光电流时的位置和角度,作为SPAD的初始耦光位置;依次在多个预设的对准偏置电压下,自初始耦光位置,通过逐行扫描方式获取每个耦光位置对应光生电流的三维分布,进而得到沿不同方向面进行截面的多个二维截面数据;所述二维截面数据中,横坐标为对应截面的耦光位置,纵坐标为光生电流值;基于每个对准偏置电压下的多个二维截面数据,获取满足预设条件的对准偏置电压作为初始耦光条件;所述预设条件为:光生电流电场均匀且无边缘击穿、以及光生电流在有源区边缘下降速率大于第一速率阈值;在所述初始耦光条件下,当尾纤的入射光线汇聚于有源区几何中心位置、且轴向上汇聚于SPAD芯片吸收层内时,将尾纤和SPAD器件进行焊接固定,得到SPAD同轴型TO器件。
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