恭喜上海华力集成电路制造有限公司周侃获国家专利权
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龙图腾网恭喜上海华力集成电路制造有限公司申请的专利机台overlay监测方法、存储介质及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115453827B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211009621.7，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权机台overlay监测方法、存储介质及系统是由周侃;王志宏;赵弘文设计研发完成，并于2022-08-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本机台overlay监测方法、存储介质及系统在说明书摘要公布了：本发明公开了一种机台overlay监测方法，包括以下步骤：KT机台拍摄overlaymark照片；将拍摄照片与预存照片进行图像对比，若对比度超过指定阈值，则判断标记正常，正常进行KT量测；若对比度小于等于指定阈值，则判断标记错误，退回到image为基础的量测。本发明能有效监测8umshifterror，避免造成线上跑货实际情况的误判，使有问题的wafer流出，造成不可挽回的损失。
本发明授权机台overlay监测方法、存储介质及系统在权利要求书中公布了：1.一种机台overlay监测方法，其特征在于，包括以下步骤：S1，KT机台拍摄overlaymark照片；S2，将拍摄照片与预存照片进行图像对比，若对比度超过指定阈值，则判断标记正常，正常进行KT量测；若对比度小于等于指定阈值，将拍摄照片与预存照片进行二值化图像灰阶值对比；若X和Y两个方向均得到4条峰值；则分别计算X和Y方向上第一条灰阶峰和第三条灰阶峰中心位置差，第二条灰阶峰和第四条灰阶峰中心位置差，分别得到X和Y方向的overlay值；进行二值化图像灰阶值对比时，若在X和Y两个方向其中仅一个方向得到四条灰阶峰,另外方向仅得到两条灰阶峰，则判断在只出现两条灰阶峰的方向出现错误，机台向EAP报FDChold8um错误发生；进行二值化图像灰阶值对比时，若在X和Y两个方向均得到小于等于三条灰阶峰则判断标记错误，退回到image为基础的量测。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人上海华力集成电路制造有限公司，其通讯地址为：201203 上海市浦东新区康桥东路298号1幢1060室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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