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龙图腾网恭喜上海广奕电子科技股份有限公司申请的专利一种离子注入机用真空系统及工艺优化方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115295383B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210896753.X，技术领域涉及：H01J37/18；该发明授权一种离子注入机用真空系统及工艺优化方法是由王作义;朱莉;高万智;何立新设计研发完成，并于2022-07-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种离子注入机用真空系统及工艺优化方法在说明书摘要公布了：本发明涉及真空技术领域，尤其为一种离子注入机用真空系统及工艺优化方法，包括：真空处理容器，固定机构，固定机构包括有设置于真空处理容器一侧的固定杆，所述固定杆的内部开设有腔体，所述腔体内腔的顶部固定连接有电机，所述电机的输出轴固定连接有螺纹杆，所述螺纹杆的底端与腔体转动连接，所述螺纹杆表面的底部螺纹连接有螺纹套，所述螺纹套的前侧固定连接有连接凸块，所述固定杆的前侧开设有与连接凸块配合使用的活动槽一。本发明在实际使用过程中，首先在真空连接管的端部增设过滤机构，使其首先对气体的传输进行多次过滤，进一步保持气体的洁净性和真空处理效果，且拆装较为方便，便于使用者对其进行更换清理。

本发明授权一种离子注入机用真空系统及工艺优化方法在权利要求书中公布了：1.一种离子注入机用真空系统，包括：真空处理容器1，其特征在于：固定机构，固定机构包括有设置于真空处理容器1一侧的固定杆2，所述固定杆2的内部开设有腔体3，所述腔体3内腔的顶部固定连接有电机4，所述电机4的输出轴固定连接有螺纹杆5，所述螺纹杆5的底端与腔体3转动连接，所述螺纹杆5表面的底部螺纹连接有螺纹套6，所述螺纹套6的前侧固定连接有连接凸块7，所述固定杆2的前侧开设有与连接凸块7配合使用的活动槽一8，所述连接凸块7的前侧贯穿至活动槽一8的外侧并固定连接有连接架9，所述真空处理容器1的一侧固定连接有固定板10，所述固定板10的顶部开设有横槽11，所述横槽11内腔的底部滑动连接有锁止块12，所述锁止块12的顶部开设有与连接架9配合使用的活动槽二13，两个锁止块12相对的一侧设置有真空泵箱14，所述真空泵箱14的两侧均开设有与锁止块12配合使用的锁止槽15；净化机构，净化机构包括有与真空泵箱14连通的真空连接管16，所述真空连接管16内腔的上方转动连接有固定板一17和固定板二18，所述固定板一17和固定板二18的顶部均开设有置物槽19，所述置物槽19内腔的底部开设有通孔20，所述固定板一17和固定板二18的底部分别固定连接有耳板一21和耳板二22，所述耳板一21和耳板二22的表面共同转动连接有连接条23，所述固定板一17和固定板二18顶部的一侧均开设有扣槽24，所述置物槽19的内腔从上至下依次设置有过滤网一25和过滤网二26。

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