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恭喜浙江中科尚弘离子装备工程有限公司刘仁杰获国家专利权

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龙图腾网恭喜浙江中科尚弘离子装备工程有限公司申请的专利一种离子注入装置及调节方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114709122B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-18发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210380033.8,技术领域涉及:H01J37/317;该发明授权一种离子注入装置及调节方法是由刘仁杰;林家杰;欧欣;彭强祥设计研发完成,并于2022-04-12向国家知识产权局提交的专利申请。

一种离子注入装置及调节方法在说明书摘要公布了:本发明提出一种离子注入装置及调节方法,该装置包括离子束发生组件、离子束分离组件、离子束汇聚组件、离子束扩散组件、汇聚调节组件、扩散调节组件及调节控制组件,离子束过滤组件与离子束发生组件配合,对离子束发生组件产生的离子束进行分离,离子束汇聚组件与离子束分离组件配合,对分离后的离子束进行分别汇聚,离子束扩散组件与离子束汇聚组件配合,对汇聚后的离子束进行扩散,汇聚调节组件与离子束汇聚组件配合,对离子束汇聚组件的运行状态进行调节,扩散调节组件与离子束扩散组件配合,对离子束扩散组件的运行状态进行调节,调节控制组件与汇聚调节组件及扩散调节组件配合,对汇聚调节组件及扩散调节组件的调节过程进行控制。

本发明授权一种离子注入装置及调节方法在权利要求书中公布了:1.一种离子注入装置,其特征在于,包括:离子束发生组件,由离子束发生组件产生带状离子束;离子束分离组件,该离子束分离组件与离子束发生组件配合,由离子束分离组件对离子束发生组件产生的离子束进行分离,形成若干相互分离的离子束;离子束汇聚组件,该离子束汇聚组件与离子束分离组件配合,由离子束汇聚组件对分离后的离子束进行分别汇聚;离子束扩散组件,该离子束扩散组件与离子束汇聚组件配合,由离子束调节组件对汇聚后的离子束进行扩散,使相邻离子束相互交叠;汇聚调节组件,该汇聚调节组件与离子束汇聚组件配合,由汇聚调节组件对离子束汇聚组件的运行状态进行调节;扩散调节组件,该扩散调节组件与离子束扩散组件配合,由扩散调节组件对离子束扩散组件的运行状态进行调节;调节控制组件,该调节控制组件与汇聚调节组件及扩散调节组件配合,由调节控制组件对汇聚调节组件及扩散调节组件的调节过程进行控制;离子束扩散组件包括:扩散透镜,该扩散透镜设有一组,并与离子束汇聚组件位置对应,各扩散透镜分别位于螺旋线圈的出口端外侧,并与离子束的汇聚点位置对应;其中,扩散透镜包括:扩散狭缝,该扩散狭缝采用开设有细长孔的非磁性构件组成,并与离子束的汇聚点位置对应;扩散磁轭,该扩散磁轭安装于扩散狭缝上;扩散电磁铁,该扩散电磁铁安装于扩散狭缝上,并与扩散磁轭位置对应。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人浙江中科尚弘离子装备工程有限公司,其通讯地址为:314100 浙江省嘉兴市嘉善县魏塘街道木业大道1111号2号楼313室;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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