恭喜洪启集成电路(珠海)有限公司袁元获国家专利权
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龙图腾网恭喜洪启集成电路(珠海)有限公司申请的专利一种二次离子质谱仪中的浸没透镜及聚焦二次离子的方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114664634B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-18发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210125281.8,技术领域涉及:H01J49/06;该发明授权一种二次离子质谱仪中的浸没透镜及聚焦二次离子的方法是由袁元;请求不公布姓名;蒋军浩;请求不公布姓名;张启华;钟碧麟;张勇为设计研发完成,并于2022-02-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种二次离子质谱仪中的浸没透镜及聚焦二次离子的方法在说明书摘要公布了:本发明涉及一种二次离子质谱仪中的浸没透镜及聚焦二次离子的方法,浸没透镜设置于二次离子质谱仪内,包括衬底圆盘、第一电极组件和绝缘安装组件,衬底圆盘用于作为第二电极,衬底圆盘上设置有安装槽,安装槽用于安装第一电极组件;衬底圆盘连接正电压,第一电极组件连接负电压,或者,衬底圆盘连接负电压,第一电极组件连接正电压,两电极间产生弧形电场。该方法将一次离子束通过衬底圆盘上的离子入射孔轰击样品表面,使得样品表面逸出二次离子,通过两电极间的弧形电场使二次离子产生偏转,使得二次离子聚焦一点。本发明结构简单,最大程度收集到二次离子,得到更强的离子束信号,方便后续的采集分析,并能够实现离子能量,离子方向双聚焦。
本发明授权一种二次离子质谱仪中的浸没透镜及聚焦二次离子的方法在权利要求书中公布了:1.一种二次离子质谱仪中的浸没透镜,设置于二次离子质谱仪内,其特征在于,包括:衬底圆盘、第一电极组件和绝缘安装组件,所述衬底圆盘用于作为第二电极,所述衬底圆盘的上端面上设置有安装槽,所述安装槽用于安装第一电极组件;所述衬底圆盘用于连接正电压,所述第一电极组件用于连接负电压,或者,所述衬底圆盘用于连接负电压,所述第一电极组件用于连接正电压;所述第一电极组件与第二电极之间产生弧形电场,使得通过弧形电场的二次离子受到同样的力,最终聚焦于一点;所述第一电极组件包括圆筒状电极,以及固定于所述圆筒状电极两侧的金属圆环,所述圆筒状电极和所述金属圆环通过所述绝缘安装组件固定在所述安装槽内;所述绝缘安装组件包括陶瓷垫圈,所述陶瓷垫圈设置于所述金属圆环下,用于隔开所述金属圆环与所述衬底圆盘,同时使得所述圆筒状电极与所述衬底圆盘之间留有空隙。
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