恭喜台湾积体电路制造股份有限公司张钧凯获国家专利权
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龙图腾网恭喜台湾积体电路制造股份有限公司申请的专利极紫外源、改善不对称沉积的方法、及辐射源获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114698216B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210089458.3，技术领域涉及：H05G2/00；该发明授权极紫外源、改善不对称沉积的方法、及辐射源是由张钧凯;江育昇;刘育德;杨基;黄清俊;郑博中设计研发完成，并于2022-01-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本极紫外源、改善不对称沉积的方法、及辐射源在说明书摘要公布了：一种极紫外源、改善不对称沉积的方法、及辐射源，控制系统包含数个压力感测器，每个压力感测器侦测数个动态气锁喷嘴控制区的相应动态气锁分嘴控制区中的压力。每个动态气锁喷嘴控制区包含一或多个动态气锁喷嘴。此控制系统包含数个质量流动控制器。数个质量流动控制器的每个质量流动控制器控制数个动态气锁喷嘴控制区的相应动态气锁跟嘴控制区中的流速。此控制系统包含控制器，以根据数个动态气锁喷嘴控制区的动态气锁控制区中的数个压力感测器所侦测的压力，选择性地使数个质量流动控制器的一或多个质量流动控制器调整数个动态气锁喷嘴控制区的一或多个动态气锁控制区中的流速。
本发明授权极紫外源、改善不对称沉积的方法、及辐射源在权利要求书中公布了：1.一种极紫外源，其特征在于，该极紫外源包含：多个动态气锁喷嘴；多个压力感测器，其中每一该些压力感测器侦测多个动态气锁喷嘴控制区中的相应的一动态气锁喷嘴控制区中的一压力，其中每一该些动态气锁喷嘴控制区包含来自该些动态气锁喷嘴的不同的一组动态气锁喷嘴，且其中每一该些压力感测器配置在该些动态气锁喷嘴的不同的动态气锁喷嘴处；多个质量流动控制器，其中每一该些质量流动控制器控制该些动态气锁喷嘴控制区中的相应的一动态气锁喷嘴控制区中的一流速，其中每一该些质量流动控制器与该些动态气锁喷嘴控制区中的不同的动态气锁喷嘴控制区有关；以及多个歧管，其中每一该些歧管连接该些动态气锁喷嘴控制区中的不同的动态气锁喷嘴控制区。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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