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龙图腾网恭喜天虹科技股份有限公司申请的专利沉积机台获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116265604B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111551777.3，技术领域涉及：C23C16/455；该发明授权沉积机台是由林俊成;郭大豪设计研发完成，并于2021-12-17向国家知识产权局提交的专利申请。

本沉积机台在说明书摘要公布了：本发明为一种沉积机台，包括一腔体、一承载盘、一抽气环及一扩散单元，其中承载盘位于腔体的一容置空间内。腔体包括一抽气通道环绕设置在容置空间的外围，其中抽气通道具有一第一、一第二及一第三抽气区。第一抽气区经由第二抽气区连接第三抽气区，其中第三抽气区的高度大于第一抽气区。抽气环包括复数个排气孔及一环形通道，其中排气孔位于承载盘的周围，可将容置空间内的气体依序经由排气孔、环形通道及抽气通道排出，并有利于在承载盘上形成稳定的流场，以提高薄膜沉积的均匀度。

本发明授权沉积机台在权利要求书中公布了：1.一种沉积机台，其特征在于，包括：一腔体，包括一容置空间及一抽气通道，该抽气通道位于该容置空间外围，其中该抽气通道包括一第一抽气区、一第二抽气区及一第三抽气区，其中该第一抽气区的一第一高度小于该第三抽气区的一第三高度，而该第二抽气区位于该第一抽气区及该第三抽气区之间，该第二抽气区的一第二高度由该第一抽气区朝该第三抽气区的方向逐渐增加，抽气区的高度是指该抽气区顶部到底部的距离；一承载盘，位于该容置空间内，并包括一承载面用以承载至少一晶圆；一抽气环，包括：一环形外墙；一环形内墙，位于该环形外墙的内侧，并位于该承载盘的周围，其中该环形外墙及该环形内墙之间具有一环形通道，流体连接该腔体的该抽气通道；复数个排气孔，设置在该环形内墙，并流体连接该环形通道及该容置空间，其中该复数个排气孔环绕设置在该承载盘的该承载面的周围；其中该抽气环包括一个或多个连接孔，该抽气环的该环形通道经由该连接孔连接该腔体的该抽气通道；及一扩散单元，包括：一扩散面，面对该承载盘的该承载面；复数个进气孔，设置在该扩散面，并流体连接该腔体的该容置空间。

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