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龙图腾网恭喜浙江光特科技有限公司申请的专利一种监控APD外延材料InGaAs/InAlAs刻蚀过程的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114242580B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111523078.8，技术领域涉及：H01L21/306；该发明授权一种监控APD外延材料InGaAs/InAlAs刻蚀过程的方法是由石峰;叶瑾琳;龚正致设计研发完成，并于2021-12-13向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种监控APD外延材料InGaAs/InAlAs刻蚀过程的方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种便于监控刻蚀过程的APD。本发明公开了一种监控APD外延结构刻蚀进度的方法，包括如下步骤：将上述便于监控刻蚀过程的APD进行光刻形成掩膜图形，然后浸泡在刻蚀液中进行刻蚀，接着观察APD表面，根据APD表面情况判断刻蚀进度，具体如下：当观察到APD表面出现“毛玻璃”现象时，则表明刻蚀液刻蚀到InGaAsP材料与InGaAsInAlAs材料的界面处；当观察到APD表面“毛玻璃”现象开始褪去时，则表明刻蚀液开始刻蚀到InGaAsInAlAs材料与InP材料界面处；当观察到APD表面重新变得光滑均匀时，则表明InGaAsInAlAs材料已经完全被刻蚀完毕。

本发明授权一种监控APD外延材料InGaAs/InAlAs刻蚀过程的方法在权利要求书中公布了：1.一种监控APD外延结构刻蚀进度的方法，所述APD以InP材料为衬底，InP材料表面覆盖有InGaAsInAlAs材料，其特征在于，InGaAsInAlAs材料表面覆盖有InGaAsP材料；所述方法，包括如下步骤：将所述APD进行光刻形成掩膜图形，然后浸泡在刻蚀液中进行刻蚀，接着观察APD表面，根据APD表面情况判断刻蚀进度，具体如下：当观察到APD表面出现毛玻璃现象时，则表明刻蚀液刻蚀到InGaAsP材料与InGaAsInAlAs材料的界面处；所述毛玻璃现象为APD表面呈现灰白色；当观察到APD表面毛玻璃现象开始褪去时，则表明刻蚀液开始刻蚀到InGaAsInAlAs材料与InP材料界面处；当观察到APD表面重新变得光滑均匀时，则表明InGaAsInAlAs材料已经完全被刻蚀完毕；刻蚀液为InGaAsInAlAs刻蚀液。

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