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龙图腾网恭喜北京信息科技大学申请的专利全方位动热源摆式三轴微机械加速度计及其加工方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113985070B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111410352.0，技术领域涉及：G01P15/12；该发明授权全方位动热源摆式三轴微机械加速度计及其加工方法是由朴林华;李备;佟嘉程;王灯山设计研发完成，并于2021-11-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本全方位动热源摆式三轴微机械加速度计及其加工方法在说明书摘要公布了：本申请公开了一种全方位动热源摆式三轴微机械加速度计及其加工方法，该加速度计包括上敏感层、下敏感层和盖板，敏感层的中心位置设置有一加热器，通过六个完全对称的半圆形支撑梁悬置在敏感层的中心位置，下方是圆形的中间加热腔；下敏感层含有呈正交分布的四个热敏电阻，下方是矩形的中间检测腔；加热器和热敏电阻的通电方式均为恒流电；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接。本发明可实现三轴加速度的检测，测量范围广，灵敏度高，响应速度快。同时它具有加工工艺简单，结构紧密，结构应力小，可靠性高，易于智能化和集成化，符合传感器朝着微小型、综合型和智能型的发展方向。

本发明授权全方位动热源摆式三轴微机械加速度计及其加工方法在权利要求书中公布了：1.一种全方位动热源摆式三轴微机械加速度计，其特征在于，包括上敏感层、下敏感层和盖板，其中，所述上敏感层的中心位置设置有全方位动热源摆加热器，所述下敏感层的上表面设置有四个热敏电阻，所述上敏感层、下敏感层键合在一起，形成敏感层；定义加速度计的长宽方向分别为X，Y方向，加速度计的高度方向为Z向；所述热敏电阻以全方位动热源摆加热器为中心呈正交分布的放置在X,Y方向；四个热敏电阻两两相对设置，用于检测三轴的加速度；所述全方位动热源摆加热器采用风火轮式敏感结构，其中心含有一个带圆形的质量块的中心轮轱，通过六个完全对称的半圆形支撑梁悬置在敏感层的中心位置；其下方是圆形的中间加热腔；所述全方位动热源摆加热器除了能沿着垂直于敏感层的Z轴摆动外，也能沿着敏感层所在XOY平面内的任一方位角摆动；加热器和热敏电阻的通电方式均为恒流电；所述盖板上刻蚀有凹槽，且与上敏感层的上表面密闭连接；盖板和下敏感层将中间加热腔和中间检测腔的气体介质与外界隔离，形成一个密封的工作系统；中间加热腔和中间检测腔高度与盖板中凹槽的深度为总的腔体高度z，300μm≤z≤1000μm；所述盖板的凹槽深度为盖板高度的23；所述全方位动热源摆加热器和热敏电阻的高度为100nm至1000nm。

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