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龙图腾网恭喜北京信息科技大学申请的专利动热源式z轴微机械角速度传感器及其加工方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113985056B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111389930.7，技术领域涉及：G01P5/08；该发明授权动热源式z轴微机械角速度传感器及其加工方法是由朴林华;张严;佟嘉程;王灯山设计研发完成，并于2021-11-22向国家知识产权局提交的专利申请。

本动热源式z轴微机械角速度传感器及其加工方法在说明书摘要公布了：本申请公开了一种动热源Z轴微机械角速度传感器及其加工方法，该Z轴角速度传感器包括基底层、敏感层和盖板，敏感层含有中间加热腔和中间检测腔，敏感层的上表面设置有全方位振子加热器动热源和一对热敏电阻；全方位振子加热器动热源通过六个完全对称的半圆形支撑梁悬置在敏感层的中心位置；加热器的通电方式为周期式交流电；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接。本发明可实现Z轴角速度的测量，灵敏度高，响应速度快，具有结构紧密、体积小、重量轻、易于智能化和集成化等特点，符合传感器朝着微小型、综合型和智能型的发展方向。

本发明授权动热源式z轴微机械角速度传感器及其加工方法在权利要求书中公布了：1.一种动热源式z轴微机械角速度传感器，其特征在于，包括基底层、敏感层和盖板，其中，所述敏感层含有中间加热腔和中间检测腔，敏感层的上表面设置有全方位振子加热器和一对热敏电阻；定义所述敏感层上表面长度方向为X方向，宽度方向为Y方向，高度方向为Z向；所述全方位振子加热器通过六个完全对称的半圆形支撑梁悬置在敏感层的中心位置；所述热敏电阻平行于Y方向对称放置在加热器的左右两侧，用于检测Z轴的角速度；所述全方位振子加热器采用风火轮式敏感结构，其中心含有一个带圆形的质量块的中心轮轱，通过六个完全对称的半圆形支撑梁悬置在敏感层的中心位置；其下方是圆形的所述中间加热腔；所述全方位振子加热器除了能沿着垂直于敏感层的Z轴摆动外，也能沿着敏感层所在XOY平面内的任一方位角摆动；所述全方位振子加热器的两端沿着Y方向覆盖对称的电极，形成可动电阻式热源；所述热敏电阻的下方是与中间加热腔深度相同的矩形的所述中间检测腔；全方位振子加热器的通电方式为周期式交流电，产生交变激励电压；热敏电阻的通电方式为恒流电；盖板和基底层将中间加热腔和中间检测腔的气体介质与外界隔离，形成一个密封的工作系统；中间加热腔和中间检测腔高度与盖板中凹槽的深度为总的腔体高度z，300μm≤z≤1000μm；所述凹槽深度为所述盖板高度的23；所述全方位振子加热器和热敏电阻的高度为100nm至1000nm。

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