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恭喜江苏神汇半导体科技有限公司陈怀斌获国家专利权

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龙图腾网恭喜江苏神汇半导体科技有限公司申请的专利分体式组合石英坩埚模具获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN113954205B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-18发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202111366267.9,技术领域涉及:B28B1/20;该发明授权分体式组合石英坩埚模具是由陈怀斌设计研发完成,并于2021-11-18向国家知识产权局提交的专利申请。

分体式组合石英坩埚模具在说明书摘要公布了:一种分体式组合石英坩埚模具,包括由若干高纯石英陶瓷件组合码砌而成的内壳,在内壳外套装有水冷却循环套,在水冷却循环套与内壳外壁之间留有抽气间隙,在高纯石英陶瓷件上均开设有与抽气间隙连通的抽真空孔,在水冷却循环套的底部固定连通有与抽气间隙连通的抽真空管道。本申请提供的分体式组合石英坩埚模具为分体式结构,具有膨胀系数小、热震性好的优点,在高温下不易膨胀变型,并且高纯石英陶瓷件采用高纯二氧化硅制成,与坩埚原料用的高纯石英砂接触无污染,每只模具使用周期长,有效降低了坩埚的生产成本。

本发明授权分体式组合石英坩埚模具在权利要求书中公布了:1.一种分体式组合石英坩埚模具,其特征在于:包括由若干高纯石英陶瓷件组合码砌而成的内壳,在内壳外套装有水冷却循环套,在水冷却循环套与内壳外壁之间留有抽气间隙,在高纯石英陶瓷件上均开设有与抽气间隙连通的抽真空孔,在水冷却循环套的底部固定连通有与抽气间隙连通的抽真空管道;在内壳的底部固定安装有若干支撑腿,在水冷却循环套的底部焊接有与支撑腿配合的支撑管,支撑管的一端延伸至抽气间隙内,支撑管的另一端延伸至水冷却循环套的外侧、并旋装有密封螺栓,在支撑管内还安装有与支撑腿配合的支撑弹簧;所述内壳包括底部的盘状件、中部的筒状件和顶部的环状件,盘状件为采用高纯石英陶瓷件制成的整体式结构,筒状件、环状件均为采用高纯石英陶瓷件组合码砌而成的分瓣式结构。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人江苏神汇半导体科技有限公司,其通讯地址为:222000 江苏省连云港市东海县东经济开发区晶都大道东路938号5号厂房;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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