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龙图腾网恭喜柯尔微电子装备(厦门)有限公司申请的专利一种用于晶圆检测的补正装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113721358B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111243039.2，技术领域涉及：G02B21/34；该发明授权一种用于晶圆检测的补正装置是由胡俊林;赵峰;孙会民;蔡章华设计研发完成，并于2021-10-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于晶圆检测的补正装置在说明书摘要公布了：公开了一种用于晶圆检测的补正装置，包括安装底板、多个XYθ轴导向模组、驱动装置和载台组件，载台组件可旋转地设置于安装底板上，多个XYθ轴导向模组设置于安装底板与载台组件之间并均布于载台组件的旋转轴所处的圆上，XYθ轴导向模组自下而上包括导向模组底板、X轴导向模块、Y轴导向模块和旋转模块，导向模组底板与安装底板固定，旋转模块与载台组件固定连接，驱动装置与其中一个XYθ轴导向模组的X轴导向模块连接以推动载台组件旋转。该装置可以实现高刚性角度补正和零抖动检测。

本发明授权一种用于晶圆检测的补正装置在权利要求书中公布了：1.一种用于晶圆检测的补正装置，其特征在于，包括安装底板、多个XYθ轴导向模组、驱动装置和载台组件，所述载台组件可旋转地设置于所述安装底板上，多个所述XYθ轴导向模组设置于所述安装底板与所述载台组件之间并均布于所述载台组件的旋转轴所处的圆上，所述XYθ轴导向模组自下而上包括导向模组底板、X轴导向模块、Y轴导向模块和旋转模块，所述导向模组底板与所述安装底板固定，所述旋转模块与所述载台组件固定连接，以其中一个XYθ轴导向模组作为主动端，其余XYθ轴导向模组为从动端，所述驱动装置与所述主动端的XYθ轴导向模组的X轴导向模块连接以推动所述载台组件旋转；所述载台组件通过旋转组件可旋转地设置于所述安装底板，所述旋转组件包括交叉滚柱轴承和转轴，所述交叉滚柱轴承的外圈与所述安装底板固定，所述转轴的两端分别与所述交叉滚柱轴承的内圈以及所述载台组件的下端面连接；所述驱动装置包括电机与滚珠丝杆机构，所述电机驱动所述滚珠丝杆机构，所述滚珠丝杆机构的丝杆螺母设置于连接座上，所述连接座与所述X轴导向模块固定连接；所述导向模组底板设置有X轴引导部，所述X轴导向模块内对应设置有X轴导向轨道，所述X轴导向模块上还设置有Y轴引导部，所述Y轴导向模块内对应设置有Y轴导向轨道；所述旋转模块为轴承，所述轴承的内圈与所述载台组件的下端面固定连接，外圈与所述Y轴导向模块的上端面固定连接。

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