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龙图腾网恭喜TOS株式会社申请的专利超高速多通道等离子体感测装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114755602B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111144219.5，技术领域涉及：G01R31/52；该发明授权超高速多通道等离子体感测装置是由金容奎;崔范浩;金龙植;康光基;丁泓种;李淅镐;李承洙设计研发完成，并于2021-09-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本超高速多通道等离子体感测装置在说明书摘要公布了：本发明涉及一种超高速多通道等离子体感测装置，包括：第一天线模块，所述第一天线模块与第一输出端连接，且接收通过所述基板泄漏的第一泄漏电流而能够提高泄漏电流的接收灵敏度，其中，所述第一输出端在工艺腔室的卡盘上与所述基板接触并向地面延伸；第一电流感测模块，所述第一电流感测模块感测所述第一泄漏电流；电流测量模块，所述电流测量模块接收从所述第一电流感测模块输出的所述第一泄漏电流，生成将其按设定的周期算出的第一泄漏电流测量信息；及控制模块，所述控制模块将所述第一泄漏电流测量信息与基准值进行比较而生成第一电弧产生信息。

本发明授权超高速多通道等离子体感测装置在权利要求书中公布了：1.一种超高速多通道等离子体感测装置，包括：第一天线模块，所述第一天线模块与第一输出端连接，且接收通过基板泄漏的第一泄漏电流而能够提高泄漏电流的接收灵敏度，其中，所述第一输出端在工艺腔室的卡盘上与所述基板接触并向地面延伸；第一电流感测模块，所述第一电流感测模块感测所述第一泄漏电流；电流测量模块，所述电流测量模块接收从所述第一电流感测模块输出的所述第一泄漏电流，生成将所述第一泄漏电流按设定的周期算出的第一泄漏电流测量信息；及控制模块，所述控制模块将所述第一泄漏电流测量信息与基准值进行比较而生成第一电弧产生信息，所述第一电流感测模块包括：第1-1电流计，所述第1-1电流计设置在所述第一输出端与所述第一天线模块之间而感测从所述第一输出端泄漏的第1-1泄漏电流；及第1-2电流计，所述第1-2电流计设置在所述第一天线模块与所述地面之间而感测从所述第一天线模块输出的第1-2泄漏电流。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人TOS株式会社，其通讯地址为：韩国京畿道乌山市京畿大路632番路129-20；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。