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龙图腾网恭喜上海大族富创得科技股份有限公司申请的专利一种晶圆寻边装置以及寻边方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113707587B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111090824.9，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权一种晶圆寻边装置以及寻边方法是由吴功;国建花设计研发完成，并于2021-09-17向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆寻边装置以及寻边方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆寻边装置以及寻边方法，其中，一种晶圆寻边装置，包括：转动驱动机构，转动驱动机构包括主动辊和从动辊，主动辊和从动辊平行且间隔设置，以承载垂直状态的晶圆；阻挡杆，阻挡杆平行设置于主动辊和从动辊之间，且阻挡杆能够升降，以抬升位于主动辊和从动辊上的晶圆；以及，限位机构一，限位机构一包括限位晶圆梳一。本发明通过多机构相配合，实现对批量垂直状态的晶圆进行寻边，并且通过从动辊和阻挡杆的配合实现完成寻边的晶圆被承载在从动辊和阻挡杆上，避免晶圆仅依靠其凹槽支撑，进而避免晶圆损坏。

本发明授权一种晶圆寻边装置以及寻边方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆寻边装置，其特征在于，包括：转动驱动机构，所述转动驱动机构包括主动辊和从动辊，所述主动辊和所述从动辊平行且间隔设置，以承载垂直状态的晶圆，并且所述晶圆在所述主动辊的驱动下能够绕其自身轴线转动；阻挡杆，所述阻挡杆平行设置于所述主动辊和所述从动辊之间，且所述阻挡杆能够升降，以抬升位于所述主动辊和所述从动辊上的所述晶圆，使其重心位于所述主动辊和所述阻挡杆之间，并在所述晶圆寻边后重心位于所述从动辊和所述阻挡杆之间；以及，限位机构一，所述限位机构一包括限位晶圆梳一，所述限位晶圆梳一平行设置于所述主动辊和从动辊之间，以夹持所述晶圆边缘；当所述阻挡杆抬升所述晶圆时，所述阻挡杆在所述主动辊的周向横截面所在平面的正投影位于所述限位晶圆梳一在该平面的正投影内；还包括至少一限位机构二，所述限位机构二包括两个限位晶圆梳二，两个所述限位晶圆梳二分别平行设置于所述主动辊和从动辊的外侧，以夹持所述晶圆边缘。

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