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龙图腾网恭喜上海大族富创得科技股份有限公司申请的专利一种晶圆转移系统以及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113745139B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111090673.7，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权一种晶圆转移系统以及方法是由吴功;倪萌;郑英杰;国建花;李国勇设计研发完成，并于2021-09-17向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆转移系统以及方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆转移系统以及方法，其中，一种晶圆转移系统，包括：晶圆盒取放单元，晶圆盒取放单元包括装载台一，装载台一用于接收并承载晶圆盒；开盒单元，开盒单元包括晶圆盒开关器和夹持机构，晶圆盒开关器用于承载和开闭晶圆盒，夹持机构用于夹持并提升位于晶圆盒开关器上的晶圆盒；晶圆盒转移机械手，晶圆盒转移机械手用于在晶圆盒取放单元和开盒单元之间转移晶圆盒。本发明通过晶圆盒取放单元、开盒单元和晶圆盒转移机械手的配合，实现对晶圆盒快速开闭作业，确保晶圆盒转移机械手的高效作业，同时也提供了多个晶圆盒缓冲暂存工位，从而避免晶圆盒载入或载出堵塞，提高了系统运行效率。

本发明授权一种晶圆转移系统以及方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆转移系统，其特征在于，包括：晶圆盒取放单元，所述晶圆盒取放单元包括装载台一，所述装载台一用于接收并承载晶圆盒；开盒单元，所述开盒单元包括晶圆盒开关器和夹持机构，所述晶圆盒开关器用于承载和开闭所述晶圆盒，所述夹持机构用于夹持并提升位于所述晶圆盒开关器上的所述晶圆盒；晶圆盒转移机械手，所述晶圆盒转移机械手用于在所述晶圆盒取放单元和所述开盒单元之间转移所述晶圆盒；其中，所述夹持机构包括：夹持安装座；设置于所述夹持安装座上的顶爪；至少两相对设置的下爪，所述下爪沿所述顶爪周向设置，所述下爪包括用于与晶圆盒连接头的底面相抵靠的倾斜抵靠面，且其向靠近所述顶爪中心的方向逐渐降低，所述倾斜抵靠面距离顶爪所在平面的最小距离与所述连接头的厚度相适配；以及，设置于所述夹持安装座上的驱动件二，所述驱动件二用于驱动至少两相对设置的所述下爪向所述顶爪的中心方向移动，以将所述晶圆盒顶端的连接头夹持于所述下爪和所述顶爪之间。

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