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龙图腾网恭喜上海大族富创得科技股份有限公司申请的专利晶圆固定机构、具有该机构的晶圆翻转装置以及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113745141B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111090802.2，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权晶圆固定机构、具有该机构的晶圆翻转装置以及系统是由吴功;郑英杰设计研发完成，并于2021-09-17向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶圆固定机构、具有该机构的晶圆翻转装置以及系统在说明书摘要公布了：本发明公开了晶圆固定机构、具有该机构的晶圆翻转装置以及系统，其中，晶圆固定机构，包括：水平支撑机构，所述水平支撑机构包括两个相对设置的支撑梳柱，以配合支撑水平状态的晶圆，且两所述支撑梳柱之间形成供所述晶圆进出的通道；周向夹持机构，所述周向夹持机构包括分设于所述通道两端的至少两个夹持梳柱，至少两个所述夹持梳柱与所述支撑梳柱相配合，以夹持位于所述支撑梳柱上的所述晶圆，周向夹持机构还包括缓冲组件，缓冲组件用于限制夹持梳柱与晶圆脱离。本发明通过水平支撑机构实现对水平状态晶圆的支撑，并通过周向夹持机构实行对位于水平支撑机构上的晶圆进行夹持固定，从而能够脱离水平支撑机构的支撑。

本发明授权晶圆固定机构、具有该机构的晶圆翻转装置以及系统在权利要求书中公布了：1.一种晶圆固定机构，其特征在于，包括：水平支撑机构，所述水平支撑机构包括两个相对设置的支撑梳柱610，以配合支撑水平状态的晶圆1，且两所述支撑梳柱610之间形成供所述晶圆1进出的通道；周向夹持机构，所述周向夹持机构包括分设于所述通道两端的至少两个夹持梳柱620，至少两个所述夹持梳柱620与所述支撑梳柱610相配合，以夹持位于所述支撑梳柱610上的所述晶圆1，所述周向夹持机构还包括缓冲组件，所述缓冲组件用于限制所述夹持梳柱620与所述晶圆1脱离；所述支撑梳柱610包括多个支撑板613，多个所述支撑板613沿垂直于水平面的方向依次间隔层叠设置，以水平支撑多片所述晶圆1；所述夹持梳柱620包括多片夹持板621，所述夹持板621与对应所述支撑板613相配合，以接触对应所述支撑板613上的所述晶圆1边缘。

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