恭喜上海大族富创得科技股份有限公司吴功获国家专利权
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龙图腾网恭喜上海大族富创得科技股份有限公司申请的专利晶圆盒开盒系统以及夹持机构、暂存装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN113745142B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-18发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202111090805.6,技术领域涉及:H01L21/677;该发明授权晶圆盒开盒系统以及夹持机构、暂存装置是由吴功;倪萌;李壮设计研发完成,并于2021-09-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆盒开盒系统以及夹持机构、暂存装置在说明书摘要公布了:本发明公开了一种晶圆盒开盒系统,包括:晶圆盒开关器,晶圆盒开关器包括装载台和开盒机构,装载台用于承载晶圆盒,开盒机构设置于装载台的侧边,并用于开闭晶圆盒;和,暂存装置,暂存装置靠近装载台设置,并用于将位于装载台上的晶圆盒提升至暂存位置,暂存装置包括夹持机构,夹持机构包括安装座、设置于安装座上的顶爪和至少两相对设置的下爪,下爪沿顶爪周向设置,下爪包括用于与晶圆盒连接头的底面相抵靠的倾斜抵靠面。本发明的晶圆盒开盒系统通过设置暂存装置与晶圆盒开关器进行配合,利用暂存装置提升位于晶圆盒开关器上的空盒或满盒,缩短了晶圆盒开关器的闲置时间,从而加快了晶圆盒转换流程。
本发明授权晶圆盒开盒系统以及夹持机构、暂存装置在权利要求书中公布了:1.一种晶圆盒开盒系统,其特征在于,包括:晶圆盒开关器,所述晶圆盒开关器包括装载台和开盒机构,所述装载台用于承载晶圆盒,所述开盒机构设置于所述装载台的侧边,并用于开闭所述晶圆盒;和,暂存装置,所述暂存装置靠近所述装载台设置,并用于将位于所述装载台上的所述晶圆盒提升至暂存位置,所述暂存位置位于所述装载台的正上方,所述暂存装置包括夹持机构和升降机构,所述升降机构设置于所述装载台的另一侧边,所述夹持机构的一侧与所述升降机构连接,且所述夹持机构可在所述升降机构的带动下在所述装载台和所述暂存位置间移动,所述夹持机构包括安装座、设置于所述安装座上的顶爪和至少两相对设置的下爪,所述下爪沿所述顶爪周向设置,所述下爪包括用于与晶圆盒连接头的底面相抵靠的倾斜抵靠面,且其向靠近所述顶爪中心的方向逐渐降低,所述抵靠面距离顶爪所在平面的最小距离与所述连接头的厚度相适配,所述夹持机构还包括设置于所述安装座上的驱动件,所述驱动件用于驱动至少两相对设置的所述下爪向所述顶爪的中心方向移动,以将所述连接头夹持于所述下爪和所述顶爪之间。
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