恭喜上海大族富创得科技股份有限公司吴功获国家专利权
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龙图腾网恭喜上海大族富创得科技股份有限公司申请的专利一种晶圆转移系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114023675B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111090833.8，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权一种晶圆转移系统是由吴功;倪萌;李国勇;刘军峰;李冰野;郑英杰;国建花设计研发完成，并于2021-09-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆转移系统在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆转移系统，包括：开盒单元，用于开闭晶圆盒；晶圆翻转单元，用于将晶圆在水平状态和垂直状态之间转换；晶圆转移单元，用于在开盒单元和晶圆翻转单元之间转移水平状态的晶圆。本发明通过开盒单元、晶圆转移单元以及晶圆翻转单元相配合，实现将晶圆由晶圆盒内取出，并将水平状态的晶圆翻转为垂直状态，并进一步可实现批量晶圆操作，从而为实现晶圆工艺处理高效运行提供了基础。
本发明授权一种晶圆转移系统在权利要求书中公布了：1.一种晶圆转移系统，其特征在于，包括：开盒单元，用于开闭晶圆盒，所述开盒单元包括晶圆盒开关器，所述晶圆盒开关器包括装载台和开盒机构，所述装载台用于承载晶圆盒，所述开盒机构设置于所述装载台的侧边，并用于开闭所述晶圆盒；晶圆翻转单元，用于将晶圆在水平状态和垂直状态之间转换；晶圆转移单元，用于在所述开盒单元和所述晶圆翻转单元之间转移水平状态的晶圆；其中，所述晶圆翻转单元包括晶圆固定机构，所述晶圆固定机构包括：水平支撑机构，所述水平支撑机构包括两个相对设置的支撑梳柱，以配合支撑水平状态的晶圆，且两所述支撑梳柱之间形成供所述晶圆进出的通道；周向夹持机构，所述周向夹持机构包括分设于所述通道两端的至少两个夹持梳柱，至少两个所述夹持梳柱与所述支撑梳柱相配合，以夹持位于所述支撑梳柱上的所述晶圆，所述周向夹持机构还包括缓冲组件，所述缓冲组件用于限制所述夹持梳柱与所述晶圆脱离。
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