恭喜上海大族富创得科技股份有限公司吴功获国家专利权
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龙图腾网恭喜上海大族富创得科技股份有限公司申请的专利一种晶圆片厚度分选系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115301569B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-18发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202110490530.9,技术领域涉及:B07C5/04;该发明授权一种晶圆片厚度分选系统是由吴功;产文兵设计研发完成,并于2021-05-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆片厚度分选系统在说明书摘要公布了:本发明的一种晶圆片厚度分选系统,包括厚度检测组件和分选组件,分选组件包括晶圆输入机构和晶圆片存储机构,厚度检测组件对晶圆片进行厚度检测后通过晶圆输入机构输送至分选组件,分选组件将不同厚度的晶圆片按照设置的分类规则放置到不同的存储机构,厚度检测组件检测后的晶圆输送至晶圆输入机构,晶圆片存储机构包括对称设置的至少一组输送带,至少一组输送带的两端分别设有顶部传感器和底部传感器,顶部传感器用于检测输送带的顶部是否有晶圆,底部传感器用于检测是否有固定齿经过。输送带带动晶圆每次以槽位间距上升,在运动过程中,通过以上的每次晶圆触发顶部传感器发出中断信号使得传送带立即停止,保证晶圆举升高度的一致性。
本发明授权一种晶圆片厚度分选系统在权利要求书中公布了:1.一种晶圆片厚度分选系统,其特征在于:包括厚度检测组件(500)和分选组件(300),所述分选组件(300)包括晶圆输入机构(410)和晶圆片存储机构(440),所述厚度检测组件(500)检测后的晶圆输送至晶圆输入机构(410),所述晶圆片存储机构(440)包括对称设置的至少一组输送带(4126),至少一组所述输送带(4126)的相对侧面设有相对应的用于支撑晶圆(4150)的固定齿(4127),至少一组所述输送带(4126)的两端分别设有顶部传感器(4132)和底部传感器(4113),以及设有驱动电机(4120)用于驱动输送带(4126),所述顶部传感器(4132)用于检测输送带(4126)的顶部是否有晶圆(4150),所述底部传感器(4113)用于检测是否有固定齿(4127)经过以及检测通过的固定齿(4127)的数量,将固定齿(4127)的数量与对应的驱动电机(4120)的编码器的编码值进行计算相邻固定齿(4127)的间距;所述系统具体为先通过驱动电机(4120)驱动输送带(4126)使得所有固定齿(4127)都位于底部传感器(4113)上方,后驱动电机(4120)驱动输送带(4126)下降,当底部传感器(4113)检测到第一个固定齿(4127)时,电机编码值清零,此位置即为零位,随后输送带(4126)继续下降使得最后一固定齿(4127)被底部传感器(4113)检测时停止运动,将固定齿(4127)的数量与对应的驱动电机(4120)的编码器的编码值进行计算相邻固定齿(4127)的间距为槽位间距;输送带(4126)带动晶圆(4150)每次以槽位间距上升,在运动过程中,顶部传感器(4132)持续检测,当顶部传感器(4132)检测到输送带(4126)顶部有晶圆(4150)时,顶部传感器(4132)发送中断信号给驱动电机(4120);当顶部传感器(4132)未检测到输送带(4126)顶部有晶圆(4150)时,输送带(4126)继续以槽位间距进行运动。
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