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龙图腾网恭喜中国科学院微电子研究所;真芯(北京)半导体有限责任公司申请的专利晶圆缺陷的检测方法及装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114972147B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110189396.9，技术领域涉及：G06T7/00；该发明授权晶圆缺陷的检测方法及装置是由金德容;吴容哲;余嘉晗设计研发完成，并于2021-02-19向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶圆缺陷的检测方法及装置在说明书摘要公布了：本申请公开了一种晶圆缺陷的检测方法及装置。该方法包括：扫描晶圆表面，得到所述晶圆表面的灰度图像；查找疑似缺陷像素；计算所述疑似缺陷像素的邻近像素的灰度平均值；所述邻近像素包括位于所述疑似缺陷像素的第一侧的若干像素和位于所述疑似缺陷像素的第二侧的若干像素；根据所述灰度平均值确定所述疑似缺陷像素属于所述明区域还是所述暗区域，得到确定结果；根据所述确定结果以及明区域和暗区域各自的预设灰度差绝对值阈值，确定所述疑似缺陷像素是否为缺陷。本公开提供的方法，避免了疑似缺陷像素的灰度值对灰度值平均值的影响，达到了提高缺陷检测准确率、减少误判的有益效果。

本发明授权晶圆缺陷的检测方法及装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆缺陷的检测方法，其特征在于，包括：扫描晶圆表面，得到所述晶圆表面的灰度图像；所述晶圆包括若干相同的裸片；所述灰度图像包括若干图案单元；各所述图案单元与各所述裸片一一对应；每一所述图案单元包括明区域和暗区域两种灰度区域；每一所述图案单元包括若干像素；所述明区域和所述暗区域分别具有各自的预设灰度值范围；查找疑似缺陷像素；计算所述疑似缺陷像素的邻近像素的灰度平均值；所述邻近像素包括位于所述疑似缺陷像素的第一侧的若干像素和位于所述疑似缺陷像素的第二侧的若干像素；所述第二侧为与所述第一侧相对的一侧；根据所述灰度平均值确定所述疑似缺陷像素属于所述明区域还是所述暗区域，得到确定结果；所述明区域和所述暗区域分别具有各自的预设灰度差绝对值阈值；根据所述确定结果以及所述明区域和所述暗区域各自的预设灰度差绝对值阈值，确定所述疑似缺陷像素是否为缺陷；所述查找疑似缺陷像素，包括：分别计算每一所述图案单元与位于的第一侧的相邻图案单元的各对应像素对中两像素的灰度差的绝对值；根据所述灰度差的绝对值，确定疑似缺陷像素。

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