买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网恭喜苏州迈为科技股份有限公司申请的专利一种硅片翻转装置及使用方法和硅片生产系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112259483B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202011029002.5，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权一种硅片翻转装置及使用方法和硅片生产系统是由董平博;邱其伟;王彦齐设计研发完成，并于2020-09-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种硅片翻转装置及使用方法和硅片生产系统在说明书摘要公布了：本发明提供一种硅片翻转装置及使用方法和硅片生产系统，其中包括：传输组件；翻转组件，包括驱动轴以及对称设置于所述驱动轴两侧的第一轮盘和第二轮盘，所述第一轮盘的靠近所述驱动轴的第一侧面均匀开设有多个沿径向延伸的第一沟槽，所述第二轮盘的靠近所述驱动轴的第二侧面均匀开设有多个沿径向延伸的第二沟槽，所述第一沟槽与所述第二沟槽对称设置；控制器，与所述驱动轴、所述输送跑道和所述输出跑道的控制端均连接，所述控制器用于控制所述驱动轴带动所述第一轮盘和所述第二轮盘同步转动。仅通过沟槽与硅片两侧边的线接触即可实现硅片在不同工序之间的翻转，极大程度地避免面接触可能导致的硅片损伤，提高硅片翻转和生产的质量。

本发明授权一种硅片翻转装置及使用方法和硅片生产系统在权利要求书中公布了：1.一种硅片翻转装置，其特征在于，包括：传输组件，包括输送跑道和输出跑道；翻转组件，包括驱动轴以及对称设置于所述驱动轴两侧的第一轮盘和第二轮盘，所述第一轮盘的靠近所述驱动轴的第一侧面均匀开设有多个沿径向延伸的第一沟槽，所述第二轮盘的靠近所述驱动轴的第二侧面均匀开设有多个沿径向延伸的第二沟槽，所述第一沟槽与所述第二沟槽对称设置；其中，所述第一沟槽和所述第二沟槽均为梯形槽，使得所述第一沟槽和所述第二沟槽的倾斜的侧壁与所述硅片的棱边接触，形成线接触；所述梯形槽的侧壁与所述梯形槽的中心线之间的夹角范围包括：2度至30度；伸入所述梯形槽内的硅片侧边与所述梯形槽的槽底之间的距离范围为：2毫米至5毫米；控制器，与所述驱动轴、所述输送跑道和所述输出跑道的控制端均连接，所述控制器用于控制所述驱动轴带动所述第一轮盘和所述第二轮盘同步转动；所述输送跑道和所述输出跑道均包括：传送轮、启动机构和用于承载所述硅片的平皮带；其中，所述启动机构的控制端与所述控制器电连接，所述启动机构的传动端与所述传送轮传动连接，所述平皮带包裹在所述传送轮上；硅片翻转装置的具体翻转过程为：当所述输送跑道将硅片输送至两侧所述第一轮盘、所述第二轮盘的所述第一沟槽、所述第二沟槽中时，硅片与所述第一沟槽、所述第二沟槽未接触，当所述第一轮盘、所述第二轮盘转动到一定角度时，硅片平行于输送方向的棱边与所述第一轮盘、所述第二轮盘的所述第一沟槽、所述第二沟槽的斜壁接触，且两者之间形成线接触，在所述第一轮盘、所述第二轮盘的继续转动下，将硅片翻转至所述输出跑道，由所述输出跑道输送至第二工序。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人苏州迈为科技股份有限公司，其通讯地址为：215299 江苏省苏州市吴江区芦荡路228号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。