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龙图腾网恭喜北京海盛日新科技有限公司申请的专利一种冷却系统及其控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113972148B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010714844.8，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种冷却系统及其控制方法是由廖宜专设计研发完成，并于2020-07-23向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种冷却系统及其控制方法在说明书摘要公布了：本申请提供了一种冷却系统与及其控制方法，涉及半导体芯片制备技术领域。该冷却系统包括控制装置、承载台以及通过进水口和出水口与承载台管道连通的冷却机，承载台上设置有第一温度传感器，以采集承载台的第一温度，冷却机的进水口设置有第二温度传感器，以采集冷却机进水口的第二温度，承载台用于放置待冷却芯片，第一温度传感器、第二温度传感器以及冷却机均与控制装置电连接；控制装置用于根据获取的第一温度与第二温度，调节冷却机出水口的水量。本申请提供的冷却系统与及其控制方法具有能够实现承载台散热能力调节的效果。

本发明授权一种冷却系统及其控制方法在权利要求书中公布了：1.一种冷却系统，其特征在于，包括控制装置、承载台以及通过进水口和出水口与所述承载台管道连通的冷却机，所述承载台上设置有第一温度传感器，以采集所述承载台的第一温度，所述冷却机的进水口设置有第二温度传感器，以采集所述冷却机进水口的第二温度，所述承载台用于放置待冷却芯片，所述第一温度传感器、所述第二温度传感器以及所述冷却机均与所述控制装置电连接；所述控制装置用于根据获取的所述第一温度与所述第二温度，调节所述冷却机出水口的水量；所述第一温度传感器用于采集所述承载台表面的第一温度，所述控制装置用于依据所述第一温度与所述第二温度的差值调节所述冷却机出水口的水量；其中，当所述第一温度与所述第二温度的差值大于第一阈值时，所述控制装置用于降低所述冷却机出水口的水量，以降低输入所述承载台的水量；当所述第一温度与所述第二温度的差值小于第二阈值时，所述控制装置用于增加所述冷却机出水口的水量，以增加输入所述承载台的水量，其中，所述第一阈值大于所述第二阈值。

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