恭喜东京毅力科创株式会社鬼海贵也获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网恭喜东京毅力科创株式会社申请的专利光照射装置、光照射方法和存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112147854B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010545970.5，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权光照射装置、光照射方法和存储介质是由鬼海贵也;古闲法久;友野胜设计研发完成，并于2020-06-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本光照射装置、光照射方法和存储介质在说明书摘要公布了：本发明提供一种光照射装置，其包括：收纳基片的处理室；收纳能量射线的射线源的线源室；将处理室与线源室分隔开的分隔壁；多个窗部，其设置在分隔壁，能够使从射线源向处理室内的基片出射的能量射线透射；和多个气体释放部，其分别设置在处理室内的多个窗部的周围，沿多个窗部的表面释放非活性气体。根据本发明，能够有效提高光照射处理的稳定性。
本发明授权光照射装置、光照射方法和存储介质在权利要求书中公布了：1.一种光照射装置，其特征在于，包括：收纳基片的处理室；收纳能量射线的射线源的线源室；将所述处理室与所述线源室分隔开的分隔壁；多个窗部，其以与所述处理室内的所述基片上的彼此不同的部位相对的方式设置在所述分隔壁，能够使从所述射线源向所述基片出射的能量射线透射；多个气体释放部，其分别设置在所述处理室内的所述多个窗部的周围，沿所述多个窗部的表面释放非活性气体；和向所述多个气体释放部供给所述非活性气体的气体流路，所述多个气体释放部分别具有：以包围所述多个窗部的任一个窗部的表面的方式设置在分隔壁的包围部；以包围所述窗部的表面的方式设置在所述包围部内的第1缓冲空间；和以包围所述第1缓冲空间的方式形成在所述包围部内，且至少在一个部位与所述气体流路连接的第2缓冲空间，所述第1缓冲空间与所述第2缓冲空间在包围所述窗部的表面的多个部位彼此连接，所述气体释放部以使所述非活性气体从所述第1缓冲空间内向所述窗部的中心汇集的方式导出所述非活性气体。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人东京毅力科创株式会社，其通讯地址为：日本东京都；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号