恭喜朗姆研究公司普鲁肖塔姆·库马尔获国家专利权
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龙图腾网恭喜朗姆研究公司申请的专利提供掺杂硅的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113841224B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080036231.1，技术领域涉及：H01L21/225；该发明授权提供掺杂硅的方法是由普鲁肖塔姆·库马尔;江庚伟;巴特·J·范施拉芬迪克;缪腾飞;约瑟夫·R·阿贝尔;阿德里安·拉瓦伊设计研发完成，并于2020-03-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本提供掺杂硅的方法在说明书摘要公布了：提供一种将衬底掺杂的方法。在该衬底的表面形成氧化硅扩散阻挡层。至少一掺杂剂层被沉积在氧化硅扩散阻挡层上。在至少一层的掺杂剂层上沉积帽盖层以形成衬底、氧化硅扩散阻挡层、至少一层掺杂剂层和帽盖层的堆叠件。退火该堆叠件。移除帽盖层、至少一层掺杂剂层以及氧化硅扩散阻挡层。
本发明授权提供掺杂硅的方法在权利要求书中公布了：1.一种用于掺杂衬底的方法，其包含：在所述衬底的表面上形成氧化硅扩散阻挡层，其中所述氧化硅扩散阻挡层的厚度具有非均匀厚度以控制所述衬底的掺杂浓度的均匀性；在所述氧化硅扩散阻挡层上沉积至少一掺杂剂层；在所述至少一掺杂剂层上沉积帽盖层以形成所述衬底、所述氧化硅扩散阻挡层、所述至少一掺杂剂层以及所述帽盖层的堆叠件；对所述堆叠件退火；以及移除所述帽盖层、所述至少一掺杂剂层和所述氧化硅扩散阻挡层。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人朗姆研究公司，其通讯地址为：美国加利福尼亚州；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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