恭喜应用材料意大利有限公司D·安德瑞欧拉获国家专利权
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龙图腾网恭喜应用材料意大利有限公司申请的专利用于支撑基板的支撑装置、处理基板的方法及半导体基板获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115039212B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080094896.8，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权用于支撑基板的支撑装置、处理基板的方法及半导体基板是由D·安德瑞欧拉;G·切莱雷;A·费基奥;V·弗林;E·帕斯夸莱托;A·赞彻丁;M·加利亚佐设计研发完成，并于2020-02-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于支撑基板的支撑装置、处理基板的方法及半导体基板在说明书摘要公布了：支撑装置10包括基板接收区域。支撑装置10包括支撑体110，支撑体110经成形为具有开口130阵列的图案。支撑体110是稀疏结构，其中开口130阵列中的开口的联合面积为基板接收区域的面积的40％或更大。支撑体110包括一个或多个抽吸开口140，所述一个或多个抽吸开口140经配置与真空源布置流体连通。
本发明授权用于支撑基板的支撑装置、处理基板的方法及半导体基板在权利要求书中公布了：1.一种用于处理半导体基板的设备，包括：支撑装置，用于支撑所述半导体基板，所述支撑装置包括：基板接收区域；以及支撑体，所述支撑体经成形为具有二维开口阵列的图案，所述支撑体为稀疏结构，其中所述二维开口阵列中的开口的联合面积为所述基板接收区域的面积的40％或更大，其中所述支撑体包括多个抽吸开口，所述多个抽吸开口经配置与真空源布置流体连通，其中所述支撑体的所述二维开口阵列包括第一开口和第二开口，其中所述第一开口和所述第二开口是所述二维开口阵列中的相邻开口，其中所述多个抽吸开口包括所述支撑体在所述第一开口和所述第二开口之间的一部分中的至少一个抽吸开口；以及激光装置，所述激光装置经配置用于通过将激光束发射到所述半导体基板的面向所述支撑体的所述二维开口阵列中的开口的一部分上来形成穿过所述半导体基板的开口。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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