恭喜朗姆研究公司普尔凯特·阿加瓦尔获国家专利权
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龙图腾网恭喜朗姆研究公司申请的专利用于调节膜均匀性的方法和设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112585720B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201980055085.4，技术领域涉及：H01L21/02；该发明授权用于调节膜均匀性的方法和设备是由普尔凯特·阿加瓦尔;阿德里安·拉沃伊;普鲁肖塔姆·库马尔设计研发完成，并于2019-08-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于调节膜均匀性的方法和设备在说明书摘要公布了：提供了一种用于处理衬底的方法，其中所述衬底位于处理室内的喷头下方。在所述衬底上沉积沉积层，其中至少一种沉积气体通过所述喷头提供。在所述沉积所述沉积层的期间，使第二清扫气体从所述处理室内的所述喷头外的位置流入，从而在所述喷头的外缘周围形成流动帘幕，其中所述第二清扫气体包含至少一种成分气体。在所述沉积所述沉积层的期间，随着时间的推移改变所述至少一种成分气体的分压，其中所述沉积所述沉积层具有不均匀性，其中在所述沉积所述沉积层的期间，所述改变所述分压随着时间的推移改变所述不均匀性。
本发明授权用于调节膜均匀性的方法和设备在权利要求书中公布了：1.一种用于处理衬底的方法，其中所述衬底位于处理室内的喷头下方，所述方法包含：在所述处理室中的所述喷头下的所述衬底上沉积沉积层，其中至少一种沉积气体通过所述喷头提供；在所述沉积所述沉积层的期间，使第二清扫气体从所述处理室内的所述喷头外的位置流入，而在所述喷头的外缘周围形成流动帘幕，其中所述第二清扫气体包含至少一种成分气体，并且所述喷头是倾斜的以在所述第二清扫气体的流动中产生方位角不均匀性；在所述沉积所述沉积层的期间，随着时间的推移改变所述至少一种成分气体的分压，其中所述沉积所述沉积层具有不均匀性，其中在所述沉积所述沉积层的期间，所述改变所述分压随着时间的推移改变所述不均匀性；以及在所述处理室中的所述喷头下方提供不均匀的回蚀工艺，其中所述不均匀的回蚀工艺与所述沉积所述沉积层的所述不均匀性互补。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人朗姆研究公司，其通讯地址为：美国加利福尼亚州；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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