恭喜靖江佳晟真空技术有限公司邵佳获国家专利权
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龙图腾网恭喜靖江佳晟真空技术有限公司申请的专利一种半导体高洁度真空传输阀获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119572748B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-22发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510121271.0,技术领域涉及:F16K3/02;该发明授权一种半导体高洁度真空传输阀是由邵佳;李欢设计研发完成,并于2025-01-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体高洁度真空传输阀在说明书摘要公布了:本发明公开了一种半导体高洁度真空传输阀,涉及真空传输阀技术领域,包括阀座、密封壳以及连接法兰板,密封壳设置在阀座的上方,连接法兰板固定安装在阀座的顶部,密封壳活动安装在连接法兰板上,阀座上开设有阀口,阀座的内部活动安装有阀板,密封壳的内部固定安装有第一伸缩杆,第一伸缩杆的输出端上固定安装有阀杆,阀板的顶部开设有连接槽,连接槽内部安装有连接弹簧,阀杆的底部与连接弹簧连接,阀座的内部设置有密封机构以及排气机构。本发明通过密封机构以及排气机构的设置,减小了阀体内部产生的细小颗粒,保证了传输阀内部的高洁净度的同时,还可自动对产生的细小颗粒进行清理的效果,以及在高频使用时对传输阀进行散热的效果。
本发明授权一种半导体高洁度真空传输阀在权利要求书中公布了:1.一种半导体高洁度真空传输阀,包括阀座(1)、密封壳(2)以及连接法兰板(3),密封壳(2)设置在阀座(1)的上方,连接法兰板(3)固定安装在阀座(1)的顶部,密封壳(2)活动安装在连接法兰板(3)上,其特征在于:所述阀座(1)上开设有阀口(4),阀座(1)的内部活动安装有阀板(5),密封壳(2)的内部固定安装有第一伸缩杆(6),第一伸缩杆(6)的输出端上固定安装有阀杆(7),阀板(5)的顶部开设有连接槽(44),连接槽(44)内部安装有连接弹簧(45),阀杆(7)的底部与连接弹簧(45)连接,密封壳(2)上安装有真空管(8),阀座(1)的内部设置有密封机构以及排气机构;所述排气机构共有两组,排气机构包括有两个气仓(24)、活塞板(25)、活塞杆(26)、进气管(27)以及第一逆止阀(28),两个气仓(24)均固定安装在密封壳(2)的内部,两个活塞板(25)分别活动安装在两个气仓(24)的内部,两个活塞杆(26)分别固定安装在两个活塞板(25)的底部壁面,两个活塞杆(26)和阀杆(7)之间固定安装有连接杆(46),两个进气管(27)分别固定安装在两个气仓(24)的侧壁上方与气仓(24)的内部连通,进气管(27)的底部延伸至阀座(1)的内部下方对应密封机构的位置,第一逆止阀(28)共有多个,多个第一逆止阀(28)分别固定安装在两个进气管(27)上下两端。
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