恭喜上海聚跃检测技术有限公司杨涛获国家专利权
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龙图腾网恭喜上海聚跃检测技术有限公司申请的专利一种氮化镓半导体芯片加工用的检测装置及检测方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119470492B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-22发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510063630.1,技术领域涉及:G01N23/00;该发明授权一种氮化镓半导体芯片加工用的检测装置及检测方法是由杨涛设计研发完成,并于2025-01-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种氮化镓半导体芯片加工用的检测装置及检测方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种氮化镓半导体芯片加工用的检测装置及检测方法,涉及到芯片检测装置领域,其包括检测主机,所述检测主机内安装有移动架,所述移动架上安装有电子显微镜。需要说明的是,在本发明实施例中,通过摆动杆对芯片的表面进行清理,避免芯片上落有较多杂质,影响检测的问题;此外,在芯片移动时,如果芯片上存在焊渣之类的杂质,则会带动检测转板转动,并得警报器打开发出报警,提醒工作人员芯片有质量问题,并能够明确地观察到芯片出问题的具体部位,便于工作人员进行检查;在进行检测时,如果夹具移动不到位,使得移动架被锁定,可以及时地提醒工作人员进行调整,避免夹具随着使用次数的增加,发生位移位置过大,影响芯片检测的问题。
本发明授权一种氮化镓半导体芯片加工用的检测装置及检测方法在权利要求书中公布了:1.一种氮化镓半导体芯片加工用的检测装置,其特征在于,其包括检测主机,所述检测主机内安装有移动架,所述移动架上安装有电子显微镜,所述检测主机内设有夹具,所述夹具上装夹有芯片;所述检测主机内安装有驱动气缸,所述驱动气缸上安装有驱动条,所述夹具连接在所述驱动条上,所述检测主机内安装有主动检测清理装置,所述主动检测清理装置用于对所述芯片进行主动检测和清理;所述主动检测清理装置包括安装座,所述安装座上转动安装有转动架,所述转动架上安装有摆动杆,所述摆动杆转动用于对所述芯片的位置进行检测,并对所述芯片的表面进行清理;还包括焊接质量检测装置,所述焊接质量检测装置安装在所述检测主机内,所述焊接质量检测装置用于对所述芯片的表面进行检测;所述焊接质量检测装置包括检测架,所述检测架安装在所述检测主机内,所述检测架内通过螺栓活动安装有多个安装块,所述安装块的底侧活动安装有伸缩杆,所述伸缩杆的底端安装有伸缩座,所述伸缩座内转动安装有与所述芯片接触的检测转板,所述安装块上安装有警报器,所述伸缩座的顶侧内壁上安装有开关,所述检测转板转动挤压所述开关,用于触发所述警报器;还包括锁止装置,所述锁止装置安装在所述检测主机内,所述锁止装置用于锁止所述移动架;所述锁止装置包括两个支撑板,所述支撑板内活动安装有锁止架,所述锁止架插在所述移动架上,用于锁止所述移动架;所述主动检测清理装置还包括储液箱,所述储液箱安装在所述检测主机内,所述储液箱上安装有抽取泵,所述抽取泵与所述摆动杆之间连接有输液管,并且所述输液管连接在所述转动架的顶侧上;所述摆动杆的底侧套接有海绵,所述摆动杆转动通过海绵对所述芯片的表面进行清理;所述安装座内转动安装有转动柱,所述转动柱的顶侧安装有安装转轴,所述转动架安装在所述安装转轴上;所述安装座上安装有两个安装架,所述安装架的底侧安装有用于挤压所述输液管的挤压头;所述安装座的一侧开设有升降槽,所述升降槽内滑动安装有升降块,所述升降块的一侧安装有下压板;所述夹具的一侧安装有挤压板,所述夹具移动带动所述挤压板挤压所述下压板下移;所述升降块的顶侧安装有复位弹簧,所述复位弹簧的顶端安装在所述升降槽的顶侧内壁上;所述升降块的一侧安装有升降轴,所述转动柱的外表面弧形的开设有带动槽,所述升降轴的一端延伸至所述带动槽内;所述升降块带动所述升降轴移动,驱动所述升降轴在所述带动槽内移动,带动所述转动柱进行转动;所述支撑板上开设有推动孔,所述锁止架活动安装在所述推动孔内,所述夹具移动推动所述锁止架进行移动,所述移动架上开设有两个锁止槽,两个所述锁止架分别插在两个所述锁止槽内;所述支撑板的底侧安装有推拉板,所述推拉板与所述支撑板之间连接有推拉弹簧。
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