恭喜长春长光圆辰微电子技术有限公司叶武阳获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾,真高效! 查专利查商标用IPTOP,全免费!专利年费监控用IP管家,真方便!
龙图腾网恭喜长春长光圆辰微电子技术有限公司申请的专利一种用于图像传感器制作的临时键合装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119421522B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-22发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510014463.1,技术领域涉及:H10F39/18;该发明授权一种用于图像传感器制作的临时键合装置是由叶武阳;于乐;刘金凯;胡龙设计研发完成,并于2025-01-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于图像传感器制作的临时键合装置在说明书摘要公布了:本发明涉及半导体领域,提供了一种用于图像传感器制作的硅层减薄方法,包括以下步骤:利用临时键合装置对晶圆和临时衬底载片进行临时键合;临时键合装置包括底座、立架、高速转动驱动装置、承台、升降驱动装置、加热器、压板、电机、第一齿轮以及支撑齿板,承台上设有第一真空负压装置,升降驱动装置以及电机均固接于立架上,加热器固接于升降驱动装置上,压板固接于加热器上,压板上设有第二真空负压装置,第一齿轮固接于第一齿轮输出轴上,支撑齿板滑动连接于立架上,支撑齿板和第一齿轮啮合;支撑齿板上设有风力除尘组件和自动涂液组件。本发明自动使定量的键合液滴落至晶圆表面,无需人工手动滴加。
本发明授权一种用于图像传感器制作的临时键合装置在权利要求书中公布了:1.一种用于图像传感器制作的临时键合装置,其特征是,临时键合装置用于对晶圆和临时衬底载片进行临时键合;临时键合装置包括底座1、立架2、高速转动驱动装置3、承台4、升降驱动装置6、加热器7、压板8、电机9、第一齿轮10以及支撑齿板11,立架2以及高速转动驱动装置3均固接于底座1顶壁,承台4固接于高速转动驱动装置3输出轴上,承台4上设有第一真空负压装置,升降驱动装置6以及电机9均固接于立架2前壁,加热器7固接于升降驱动装置6底壁,压板8固接于加热器7底壁,压板8上设有第二真空负压装置,第一齿轮10固接于电机9输出轴上,支撑齿板11滑动连接于立架2前壁,支撑齿板11和第一齿轮10啮合;支撑齿板11上设有风力除尘组件和自动涂液组件。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人长春长光圆辰微电子技术有限公司,其通讯地址为:130000 吉林省长春市经开区营口路18号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。