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龙图腾网恭喜迈为技术(珠海)有限公司申请的专利晶圆定位方法及装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119381331B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-22发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411962336.6，技术领域涉及：H01L21/68；该发明授权晶圆定位方法及装置是由裴兴环;张志强;陈万群;王正根设计研发完成，并于2024-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶圆定位方法及装置在说明书摘要公布了：本申请涉及一种晶圆定位方法及装置，所述方法包括：将运动载台移动至示教位置并记录其标定位置坐标、旋转角度；通过图像采集装置对置于运动载台上的标定板的特征标记、位于不同旋转轴角度下的图像进行采集，以获取像素坐标系与世界坐标系的映射关系，对待定位产品位于不同旋转轴角度下的边缘图像进行采集，对位于不同旋转轴角度下的标定板、待定位产品的边缘图像进行采集是通过运动载台于标定旋转角度幅度下进行旋转得到的；依据映射关系获取世界坐标系下的边缘的位置坐标、待定位产品的中心位置坐标；对待定位产品上的定位标记的轮廓信息进行采集，依据映射关系，以获取定位标记的位置坐标。采用本方法能够有效提升晶圆的对位精度。

本发明授权晶圆定位方法及装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆定位方法，其特征在于，所述方法包括：将运动载台移动至示教位置，并记录所述运动载台处于所述示教位置时的标定位置坐标及标定旋转角度；通过图像采集装置对置于所述运动载台上的标定板的特征标记的图像、所述标定板位于不同旋转轴角度下的图像进行采集，以获取所述图像采集装置的像素坐标系与世界坐标系的映射关系，其中对所述标定板位于不同旋转轴角度下的图像进行采集是通过所述运动载台带动所述标定板于标定旋转角度幅度下进行旋转得到的；通过所述图像采集装置对处于所述示教位置的所述运动载台上的待定位产品位于不同旋转轴角度下的边缘的图像进行采集，其中对所述待定位产品位于不同旋转轴角度下的所述边缘的图像进行采集是通过所述运动载台带动所述待定位产品于标定旋转角度幅度下进行旋转得到的；依据所述图像采集装置的像素坐标系与世界坐标系的映射关系，以获取相应的世界坐标系下的所述边缘的位置坐标；基于获取到的所述边缘的位置坐标，获取所述待定位产品的中心位置坐标；通过所述图像采集装置对所述待定位产品上的定位标记的轮廓信息进行采集，依据所述图像采集装置的像素坐标系与世界坐标系的映射关系，以获取所述定位标记的位置坐标。

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