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龙图腾网恭喜上海派拉纶生物技术股份有限公司申请的专利一种管形工件内壁薄膜沉积装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119194395B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-22发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411709450.8，技术领域涉及：C23C16/04；该发明授权一种管形工件内壁薄膜沉积装置及方法是由张岳;杜琪源;杨玉衡;张金刚;陈志争设计研发完成，并于2024-11-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种管形工件内壁薄膜沉积装置及方法在说明书摘要公布了：本发明涉及镀覆技术领域，具体涉及一种管形工件内壁薄膜沉积装置及方法，该沉积装置包括沉积室，沉积室包括反应腔室，反应腔室的两侧相对设置有进料管路和排料管路，反应腔室内设置有支撑装置，支撑装置上用于放置待镀覆的管形工件；管形工件的外壁包覆有柔性加热件，柔性加热件待镀内部分布有加热体，用于在薄膜沉积过程中对管形工件进行加热，通过柔性加热件包裹管形工件，使得加热体与管形工件紧密无间隙贴合进行加热，加热体包裹管体受热更均匀，热传导效果高，有利于管内壁薄膜的均匀沉积；同时通过外层的柔性加热件支撑，保温隔热性好，有利于提升加热体的热利用效率，且与支撑装置隔离开，减少支撑装置的热影响，有利于提高膜均匀沉积性。

本发明授权一种管形工件内壁薄膜沉积装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种管形工件内壁薄膜沉积装置，其特征在于，包括：沉积室，所述沉积室包括反应腔室，所述反应腔室的两侧相对设置有进料管路和排料管路，所述反应腔室内设置有支撑装置，所述支撑装置上用于放置待镀覆的管形工件；所述管形工件的外壁包覆有柔性加热件，所述柔性加热件待镀内部分布有加热体，用于在薄膜沉积过程中对所述管形工件进行加热；所述柔性加热件将所述管形工件全部包覆，且所述柔性加热件的两端分别设置有收紧口；所述柔性加热件包括依次设置的第一端加热段、N个第二加热段以及第三端加热段，所述第二加热段的加热温度小于所述第一端加热段和所述第三端加热段的加热温度，所述第一端加热段和所述第三端加热段的加热温度相同；其中，N为大于1的整数；导流转向结构和气体收集结构；所述气体收集结构包覆在所述柔性加热件和所述管形工件的外部，所述气体收集结构的两端分别设有喇叭状导流件；所述导流转向结构支撑在所述排料管路与所述反应腔室连接部位两侧的内壁上，用于将从所述进料管路流入的气流回流转向至所述气体收集结构。

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