恭喜山东舜芯工研微电子有限公司徐凯凯获国家专利权
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龙图腾网恭喜山东舜芯工研微电子有限公司申请的专利一种MEMS封装结构获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222781402U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-22发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421716989.1,技术领域涉及:B81B7/00;该实用新型一种MEMS封装结构是由徐凯凯;贺瑞;赵旭;倪杰设计研发完成,并于2024-07-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种MEMS封装结构在说明书摘要公布了:本实用新型提出了一种MEMS封装结构,涉及半导体器件的封装技术领域,包括封装载体,封装载体开设有第一腔室和第二腔室,第一腔室与第二腔室之间形成支撑台,支撑台台面上放置有转接板,第二腔室底壁设置有MEMS芯片,MEMS芯片下方的第二腔室底壁上开设有通孔,通孔与MEMS芯片相配合,MEMS芯片与转接板电连接,转接板上电连接有引线,引线向上穿出所述第一腔室后自由延伸,本实用新型中封装载体的材质采用金属材质,金属材质的封装载体机加工精密,封装尺寸小,从而有效解决了塑封封装时封装尺寸大的问题,另外,金属材质的封装载体在注塑封装时其加工温度低,封装载体不易变形和翘曲,从而有效保证封装产品的成品良率。
本实用新型一种MEMS封装结构在权利要求书中公布了:1.一种MEMS封装结构,其特征在于,其包括:封装载体100,所述封装载体100从上向下依次开设有第一腔室110和第二腔室120,所述第一腔室110和第二腔室120连通,所述第二腔室120底壁上开设有通孔122,所述第一腔室110与第二腔室120之间形成支撑台130,所述支撑台130台面上放置有转接板131,所述转接板131上电连接有引线132,所述引线132向上穿出所述第一腔室110后自由延伸。
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