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罗博特科智能科技股份有限公司张建伟获国家专利权

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龙图腾网获悉罗博特科智能科技股份有限公司申请的专利适用于硅片传输的吸盘及传输装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222785277U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-22发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421616441.X,技术领域涉及:H01L21/683;该实用新型适用于硅片传输的吸盘及传输装置是由张建伟;戴军;罗银兵;张学强设计研发完成,并于2024-07-10向国家知识产权局提交的专利申请。

适用于硅片传输的吸盘及传输装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种适用于硅片传输的吸盘,依次包括顶板、中板和底板,所述顶板、中板和底板形成吸附腔,所述顶板上设置有用于支撑硅片边缘棱边的垫板,所述顶板对应所述垫板开设有吸附口,所述吸附口贯穿所述顶板的厚度方向并连通所述吸附腔,所述吸附腔具有抽气口,所述抽气口与负压机构连通。本实用新型的吸盘,通过设置用于支撑硅片棱边的垫板,避免吸盘接触硅片的工艺面,同时结合与负压机构连通的吸附腔和抽气口,对硅片进行有效的无接触吸附。

本实用新型适用于硅片传输的吸盘及传输装置在权利要求书中公布了:1.一种适用于硅片传输的吸盘,其特征在于,依次包括顶板、中板和底板,所述顶板、中板和底板形成吸附腔,所述顶板上设置有用于支撑硅片边缘的垫板,所述顶板对应所述垫板开设有吸附口,所述吸附口贯穿所述顶板的厚度方向并连通所述吸附腔,所述中板上开设有抽气口,所述抽气口与负压机构连通。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人罗博特科智能科技股份有限公司,其通讯地址为:215000 江苏省苏州市工业园区唯亭港浪路3号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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