广西华南芯半导体科技有限公司吴冠伟获国家专利权
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龙图腾网获悉广西华南芯半导体科技有限公司申请的专利一种高温离子注入机获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222785252U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-22发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421617402.1，技术领域涉及：H01J37/317；该实用新型一种高温离子注入机是由吴冠伟;吴裕朝设计研发完成，并于2024-07-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种高温离子注入机在说明书摘要公布了：本申请涉及半导体制造技术领域，具体公开了一种高温离子注入机，其包括离子注入机构、承载机构和送料机构，所述承载机构包括底座、旋转动力件、转盘和固定组件，所述旋转动力件设置于底座上，所述转盘同轴固定连接于旋转动力件的输出端，所述转盘的顶面上环设有多个用于放置硅片的容纳槽，所述转盘位于离子注入机构的出口的下方，所述固定组件设置于转盘和底座之间，用于固定放置于容纳槽内的硅片，所述送料机构包括设置于转盘一侧的机械臂，所述机械臂用于硅片的上下料。本申请可减弱硅片的上下料过程对生产效率的影响。
本实用新型一种高温离子注入机在权利要求书中公布了：1.一种高温离子注入机，其特征在于：包括离子注入机构（1）、承载机构（2）和送料机构（3），所述承载机构（2）包括底座（21）、旋转动力件（22）、转盘（23）和固定组件（24），所述旋转动力件（22）设置于底座（21）上，所述转盘（23）同轴固定连接于旋转动力件（22）的输出端，所述转盘（23）的顶面上环设有多个用于放置硅片（19）的容纳槽（231），所述转盘（23）位于离子注入机构（1）的出口的下方，所述固定组件（24）设置于转盘（23）和底座（21）之间，用于固定放置于容纳槽（231）内的硅片（19），所述送料机构（3）包括设置于转盘（23）一侧的机械臂，所述机械臂用于硅片（19）的上下料。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人广西华南芯半导体科技有限公司，其通讯地址为：530000 广西壮族自治区南宁市中国(广西)自由贸易试验区南宁片区凯旋路13号五象新区总部基地休闲公园1号楼109-1号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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