广西华南芯半导体科技有限公司吴冠伟获国家专利权
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龙图腾网获悉广西华南芯半导体科技有限公司申请的专利一种激光退火设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222785266U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-22发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421617339.1，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种激光退火设备是由吴冠伟;吴裕朝设计研发完成，并于2024-07-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种激光退火设备在说明书摘要公布了：本申请涉及激光退火技术领域，具体公开了一种激光退火设备，其包括底座以及设置于底座上的激光发射主体和安装主体，所述激光发射主体位于安装主体的顶部，所述安装主体包括输送机构、支撑平台、工艺台和夹紧机构，所述输送机构和支撑平台均设置于底座上，所述支撑平台设置有两个且位于输送机构的两侧，所述支撑平台的顶面和输送机构的顶面平齐，所述工艺台设置有两个，其中一所述工艺台放置于输送机构上，另一所述工艺台放置于支撑平台上，所述夹紧机构设置于工艺台上，用于将放置于工艺台上的晶圆夹紧固定。本申请可减弱晶圆的上下料过程对工作效率的影响。
本实用新型一种激光退火设备在权利要求书中公布了：1.一种激光退火设备，其特征在于：包括底座（1）以及设置于底座（1）上的激光发射主体（2）和安装主体，所述激光发射主体（2）位于安装主体的顶部，所述安装主体包括输送机构（3）、支撑平台（4）、工艺台（5）和夹紧机构（6），所述输送机构（3）和支撑平台（4）均设置于底座（1）上，所述支撑平台（4）设置有两个且位于输送机构（3）的两侧，所述支撑平台（4）的顶面和输送机构（3）的顶面平齐，所述工艺台（5）设置有两个，其中一所述工艺台（5）放置于输送机构（3）上，另一所述工艺台（5）放置于支撑平台（4）上，所述夹紧机构（6）设置于工艺台（5）上，用于将放置于工艺台（5）上的晶圆夹紧固定。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人广西华南芯半导体科技有限公司，其通讯地址为：530000 广西壮族自治区南宁市中国(广西)自由贸易试验区南宁片区凯旋路13号五象新区总部基地休闲公园1号楼109-1号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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