吉姆西半导体科技(无锡)股份有限公司陆殷杰获国家专利权
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龙图腾网获悉吉姆西半导体科技(无锡)股份有限公司申请的专利抖动架及晶圆化学镀抖动装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222781690U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-22发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421548777.7，技术领域涉及：C23C18/16；该实用新型抖动架及晶圆化学镀抖动装置是由陆殷杰;祁志明;李程;李松松;孙永胜设计研发完成，并于2024-07-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本抖动架及晶圆化学镀抖动装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种抖动架及晶圆化学镀抖动装置，抖动架包括支架及承载结构，承载结构形成有用于容纳晶圆的收容空间。可先将装有晶圆的花篮放置于承载结构的收容空间内，再将抖动架连同花篮浸入化学镀槽中进行镀膜。由于承载结构是由立柱、围杆及底部支撑杆共同围成的框架结构，其底部及侧面存在较大的镂空区域，故在将抖动架从化学镀槽取出后，承载结构的收容空间内的化学药剂能够快速沥干。而且，由于每个围杆的转角处均设置有弧形过渡段，不存在死角，故还能够有效减少化学药剂的残留并方便清洁。因此，上述抖动架及晶圆化学镀抖动装置在镀膜后方便使收容空间保持清洁，从而避免长期使用后因产生结晶而污染晶圆。
本实用新型抖动架及晶圆化学镀抖动装置在权利要求书中公布了：1.一种抖动架，其特征在于，包括支架及承载结构，所述承载结构可拆卸地安装于所述支架，所述承载结构包括立柱、围杆及底部支撑杆，多个所述立柱围合成环状结构，多个所述围杆沿所述立柱的延伸方向间隔设置，每个所述围杆沿所述环状结构的周向延伸并依次与多个所述立柱连接，且每个所述围杆的转角处设置成弧形过渡段，所述底部支撑杆跨设于位于所述承载结构底部的所述围杆上，多个所述立柱、多个所述围杆及所述底部支撑杆共同围设成用于容纳产品的收容空间。
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