广州增芯科技有限公司李文正获国家专利权
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龙图腾网获悉广州增芯科技有限公司申请的专利化学机械研磨设备中的钻石修整器的监控装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222779358U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-22发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421514925.3，技术领域涉及：B24B37/00；该实用新型化学机械研磨设备中的钻石修整器的监控装置是由李文正设计研发完成，并于2024-06-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本化学机械研磨设备中的钻石修整器的监控装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种化学机械研磨设备中的钻石修整器的监控装置，包括：光学传感器，设置于钻石修整头的外侧，随着钻石修整器的运动而运动，对钻石修整头修整的研磨垫发出光信号进行扫描，并接收从研磨垫反射回的光信号；图像拍摄装置，设置于收容器的底部，拍摄钻石修整头工作之前和工作之后的照片；检测处理部分，与光学传感器和图像拍摄装置通讯连接，对光学传感器和图像拍摄装置所输出的数据进行处理，以监控是否有钻石掉落。本实用新型的技术方案，通过光学传感器、图像拍摄图像，实现了钻石掉落的双重监控，监控结果准确，避免了钻石掉落对修整效果的影响以及对晶圆的损坏。
本实用新型化学机械研磨设备中的钻石修整器的监控装置在权利要求书中公布了：1.一种化学机械研磨设备中的钻石修整器的监控装置，所述钻石修整器包括：钻石修整头、摆臂和收容器，所述钻石修整头位于所述摆臂的一端；所述钻石修整器工作之前和工作之后，所述钻石修整头位于所述收容器内，其特征在于，所述监控装置包括：光学传感器，所述光学传感器设置于所述钻石修整头的外侧，随着所述钻石修整器的运动而运动，所述光学传感器对所述钻石修整头修整的研磨垫发出光信号进行扫描，并接收从所述研磨垫反射回的光信号；图像拍摄装置，设置于所述收容器的底部，拍摄所述钻石修整头工作之前和工作之后的照片；以及检测处理部分，与所述光学传感器和所述图像拍摄装置通讯连接，对所述光学传感器和图像拍摄装置所输出的数据进行处理；其中，检测处理部分根据所述反射回的光信号来判断所述研磨垫的颗粒大小或根据所述反射回的光信号来判断其光谱；当所述检测处理部分侦测的颗粒大小超出预设值或所述检测处理部分侦测的光谱在预设光谱范围内时，结合所述钻石修整头的工作之前和工作之后的照片监控所述钻石修整器工作期间是否存在钻石掉落。
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