宁波江丰电子材料股份有限公司姚力军获国家专利权
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龙图腾网获悉宁波江丰电子材料股份有限公司申请的专利靶材包套及溅射机获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222781673U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-22发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421514773.7,技术领域涉及:C23C14/34;该实用新型靶材包套及溅射机是由姚力军;陈琛;边逸军;王学泽设计研发完成,并于2024-06-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本靶材包套及溅射机在说明书摘要公布了:本实用新型属于靶材加工技术领域,公开了一种靶材包套及溅射机。靶材包套包括顶板、底板、第一侧壁、至少一个隔板以及第二侧壁,其中顶板、底板以及第一侧壁密封连接,能够围合形成中空且一侧开口的腔体;至少一个隔板设置在腔体内,与第一侧壁连接,隔板将腔体分割成多个小腔,将多组待焊接靶材放入小腔内;第二侧壁能够与顶板、底板以及第一侧壁连接,能够对上述开口的腔体进行密封,第二侧壁上设置至少一个连通腔体的排气管。该装置允许操作者在同一个焊接周期内将多组靶材同时进行靶材包套的装配以及焊接,而不是逐一进行,从而大幅减少装配和焊接总时间,有效提高了焊接效率,同时也减少了靶材包套材料的消耗,降低了焊接成本。
本实用新型靶材包套及溅射机在权利要求书中公布了:1.靶材包套,其特征在于,包括:顶板1;底板2;所述底板2和所述顶板1上下相对设置;第一侧壁3,所述第一侧壁3的顶边与所述顶板1密封连接;所述第一侧壁3的底边与所述底板2密封连接,所述顶板1、所述底板2以及所述第一侧壁3围合形成中空且一侧开口的腔体;至少一个隔板4,所述隔板4设置在所述腔体内,并与所述第一侧壁3连接;第二侧壁5,所述第二侧壁5设置于所述腔体开口一侧,所述第二侧壁5能够与所述顶板1、所述底板2以及所述第一侧壁3连接,以能够密封所述腔体;所述第二侧壁5上设置至少一个连通所述腔体的排气管6。
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