天合光能股份有限公司吴健获国家专利权
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龙图腾网获悉天合光能股份有限公司申请的专利一种板式ALD设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222781687U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-22发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421521176.7，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型一种板式ALD设备是由吴健;刘成法;陈红;张帅;庄永悦设计研发完成，并于2024-06-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种板式ALD设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种板式ALD设备，该板式ALD设备包括：硅片分离装置、上料运输装置、工艺腔和下料运输装置，上料运输装置用于将硅片运输至硅片分离装置内进行硅片碎片的筛选，并将完整硅片运输至工艺腔内；工艺腔用于对完整硅片进行工艺操作；下料运输装置用于将进行工艺操作后的硅片运输至硅片分离装置内进行硅片碎片的筛选，硅片分离装置用于实现完整硅片和硅片碎片的分离。通过在上下料运输装置上设置硅片分离装置，实现了上料过程中和下料过程中硅片碎片与完整硅片之间的分离，极大降低了硅片碎片对通源气体的消耗，以及碎片造成下料皮带堵料的可能性，提高了ALD镀膜的批次效率。
本实用新型一种板式ALD设备在权利要求书中公布了：1.一种板式ALD设备，其特征在于，包括：硅片分离装置、上料运输装置、工艺腔和下料运输装置；所述硅片分离装置包括装载板和硅片固定件；所述装载板中包括多个单元格，每个所述单元格均包括边框结构和设置在所述边框结构中的镂空区域，所述镂空区域用于筛选硅片碎片；所述硅片固定件设置在所述边框结构上，并向所述镂空区域部分延伸，用于固定完整硅片；所述硅片分离装置分别设置于所述上料运输装置和所述下料运输装置上；所述上料运输装置用于将硅片运输至所述硅片分离装置内进行所述硅片碎片的筛选，并将所述完整硅片运输至工艺腔内；所述工艺腔用于对所述完整硅片进行工艺操作；所述下料运输装置用于将工艺后的硅片运输至所述硅片分离装置内进行所述硅片碎片的筛选。
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