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龙图腾网获悉中国计量大学申请的专利一种改善晶圆抛光平整度的抛光装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222779359U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-22发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421487764.3，技术领域涉及：B24B37/10；该实用新型一种改善晶圆抛光平整度的抛光装置是由李雨;王燚迪;范存冬;周美琪设计研发完成，并于2024-06-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种改善晶圆抛光平整度的抛光装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种改善晶圆抛光平整度的抛光装置，包括底座和抛光仓，所述底座顶部的一端安装有抛光仓，且底座顶部远离抛光仓的一端安装有步进电机，所述步进电机的输出端安装有第一转轴，且第一转轴的顶部安装有转动板，所述抛光仓内部的底部安装有第三伺服电机。本实用新型安装有第二伺服电机、第二转轴、抛光磨片、磁性抛光盘、第三转轴和第三伺服电机，抛光时，第二伺服电机通过第二转轴带动抛光磨片顺时针转动，可通过抛光磨片对晶圆进行抛光处理，且第三伺服电机通过第三转轴带动磁性抛光盘逆时针转动，即可带动晶圆转动，可将晶圆不同位置处转动至抛光磨片下方进行抛光处理，有利于将晶圆抛光均匀。

本实用新型一种改善晶圆抛光平整度的抛光装置在权利要求书中公布了：1.一种改善晶圆抛光平整度的抛光装置，包括底座1和抛光仓23，其特征在于：所述底座1顶部的一端安装有抛光仓23，且底座1顶部远离抛光仓23的一端安装有步进电机2，所述步进电机2的输出端安装有第一转轴3，且第一转轴3的顶部安装有转动板4，所述抛光仓23内部的底部安装有第三伺服电机22，且抛光仓23远离步进电机2一端的顶部安装有控制面板21，所述转动板4顶部靠近抛光仓23的一端安装有第一伺服电机5，且第一伺服电机5的输出端安装有螺纹杆7，所述螺纹杆7的外侧螺纹安装有螺纹管10，且螺纹管10靠近抛光仓23的一端安装有升降板12，所述升降板12底部远离转动板4的一端安装有第二滑动组件13，且第二滑动组件13的底部滑动安装有L型板14，所述L型板14的顶部安装有第二伺服电机15，且第二伺服电机15的输出端安装有第二转轴16，所述第二转轴16穿过L型板14，且第二转轴16的底部安装有抛光磨片17，所述升降板12底部靠近转动板4的一端安装有第四伺服电机26，所述控制面板21的输出端通过导线分别与步进电机2、第一伺服电机5、第二伺服电机15、第三伺服电机22和第四伺服电机26的输入端电性连接。

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