吉姆西半导体科技(无锡)股份有限公司汝文弟获国家专利权
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龙图腾网获悉吉姆西半导体科技(无锡)股份有限公司申请的专利排风装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222778590U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-22发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421410264.X，技术领域涉及：B08B15/04；该实用新型排风装置是由汝文弟;陈婉祯设计研发完成，并于2024-06-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本排风装置在说明书摘要公布了：本实用新型实施例公开了一种排风装置。其中排风装置，包括：至少两个腔体排风机构，每个所述腔体排风机构均包括腔体进风口和腔体排风口，每个所述腔体排风机构的所述腔体进风口分别与不同的半导体清洗设备腔体连通，所述腔体排风口用于连通外界；气液分离隔板，设置在至少一个所述腔体排风机构内；排液管，与至少一个所述腔体排风机构相连。通过本实用新型实施例，能够利用多个腔体排风机构，实现多腔室独立排风，降低每个腔体的排风的互相影响；还能够利用气液分离隔板和排液管将不同腔室排出的液体蒸汽分离成从腔体排风口排出的气体和从排液管排出的液体，从而既能提高所有腔体的排风效率，同时又能保证最终排出的气体符合排放标准。
本实用新型排风装置在权利要求书中公布了：1.一种排风装置，其特征在于，包括：至少两个腔体排风机构，每个所述腔体排风机构均包括腔体进风口11和腔体排风口12，每个所述腔体排风机构的所述腔体进风口11分别与不同的半导体清洗设备腔体连通，所述腔体排风口12用于连通外界；气液分离隔板2，设置在至少一个所述腔体排风机构内；排液管3，与至少一个所述腔体排风机构相连，并用于将所述腔体排风机构内的液体导出到外界。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人吉姆西半导体科技(无锡)股份有限公司，其通讯地址为：214000 江苏省无锡市锡山区锡北镇泾祥路1号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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