欧昊新能源电力(甘肃)有限责任公司周霞获国家专利权
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龙图腾网获悉欧昊新能源电力(甘肃)有限责任公司申请的专利一种改善非晶硅薄膜均匀性的装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222781686U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-22发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421404904.6，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型一种改善非晶硅薄膜均匀性的装置是由周霞;王斌;张志强;杨世阳设计研发完成，并于2024-06-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种改善非晶硅薄膜均匀性的装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种改善非晶硅薄膜均匀性的装置，包括有反应室，反应室的侧面设置有舱门，舱门中央设置有观察板，反应室上壁中央安装有气体连接部，气体连接部的上方连接有气相传输通道，气体连接部的下端连接有气相扩散器，气相扩散器的下端安装有布气板，反应室侧壁两端设置有抽气管，反应室下壁中央设置有电缸，电缸上端连接有下极板。本实用新型通过设置电缸，可以控制下极板高度，避免了基片附近的气流速度的不均；通过调整上阴极位置匀气通孔数量，匀气通孔在布气板的中央部分密集设置、在布气板的边缘部分疏散设置，使气体收敛在中间位置，由中间位置向四周进行扩散，减少边缘的气体流量，进而改善沉积薄膜的均匀性。
本实用新型一种改善非晶硅薄膜均匀性的装置在权利要求书中公布了：1.一种改善非晶硅薄膜均匀性的装置，包括有反应室1，所述反应室1的侧面设置有舱门12，所述舱门12中央设置有观察板13，其特征在于：所述反应室1上部设置有气体连接部4，所述气体连接部4的上方连接有穿过反应室1上壁的气相传输通道2，位于所述反应室1顶端上侧在气相传输通道2上连接有进气阀3，所述气体连接部4的下端连接有气相扩散器5，所述气相扩散器5的下端安装有布气板6，所述反应室1侧壁对称设置有两个抽气管7，所述反应室1下壁中央设置有电缸8，所述电缸8上端连接有下极板9。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人欧昊新能源电力(甘肃)有限责任公司，其通讯地址为：735000 甘肃省酒泉市肃州区经济技术开发区南园(奥凯路向南500米)；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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