苏州三光科技股份有限公司顾圣达获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州三光科技股份有限公司申请的专利一种大尺寸碳化硅的电火花线切割加工装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222779815U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-22发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421365783.9，技术领域涉及：B28D5/04；该实用新型一种大尺寸碳化硅的电火花线切割加工装置是由顾圣达;顾岭;赵前军设计研发完成，并于2024-06-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种大尺寸碳化硅的电火花线切割加工装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种大尺寸碳化硅的电火花线切割加工装置，包括主体组件，所述主体组件的顶部设置有固定组件，所述固定组件包括底座、固定板、第二驱动电机、旋转台、绝缘过渡板、三爪卡盘、导电过渡板、碳化硅晶锭、支架和电刷；所述底座的顶部固定连接有固定板，所述固定板的一侧安装有第二驱动电机，所述第二驱动电机的输出轴与旋转台固定连接。本实用新型通过丝杆转动带动电极丝移动对碳化硅进行切割，同时切割过程中利用驱动电机带动碳化硅晶锭转动，实现旋转加工分区切割，降低了电极丝对碳化硅的切割厚度，使得电火花线切割加工方法可以实现大直径碳化硅材料的加工，尤其是突破了12寸以上晶圆衬底切割加工的难点。
本实用新型一种大尺寸碳化硅的电火花线切割加工装置在权利要求书中公布了：1.一种大尺寸碳化硅的电火花线切割加工装置，包括主体组件10，其特征在于：所述主体组件10的顶部设置有固定组件20，所述固定组件20包括底座21、固定板22、第二驱动电机23、旋转台24、绝缘过渡板25、三爪卡盘26、导电过渡板27、碳化硅晶锭28、支架29和电刷210；所述底座21的顶部固定连接有固定板22，所述固定板22的一侧安装有第二驱动电机23，所述第二驱动电机23的输出轴与旋转台24固定连接，所述旋转台24转动连接于固定板22的一侧，所述旋转台24的一侧固定连接有绝缘过渡板25，所述绝缘过渡板25的一侧固定连接有三爪卡盘26，所述三爪卡盘26的内部可拆卸固定连接有导电过渡板27，所述导电过渡板27的一侧固定连接有碳化硅晶锭28，所述固定板22的一侧固定连接有支架29，所述支架29的顶部安装有电刷210。
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