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恭喜创微微电子(常州)有限公司左国军获国家专利权

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龙图腾网恭喜创微微电子(常州)有限公司申请的专利一种清洗晶圆的喷嘴装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222778248U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-22发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421316081.1,技术领域涉及:B05B7/04;该实用新型一种清洗晶圆的喷嘴装置是由左国军;蔡嘉雄;邱开宇设计研发完成,并于2024-06-11向国家知识产权局提交的专利申请。

一种清洗晶圆的喷嘴装置在说明书摘要公布了:本实用新型属于晶圆清洗喷嘴技术领域,具体涉及一种清洗晶圆的喷嘴装置,一种清洗晶圆的喷嘴装置,其特征在于,包括:混合块,所述混合块的顶部设置有介质入口,所述混合块的侧壁设置有气体入口,所述混合块的底部设置有清洗出口;本清洗晶圆的喷嘴装置通过设置气体入口能够力接入加压气体,从而提高喷嘴的喷射效果,提高清洁力度。

本实用新型一种清洗晶圆的喷嘴装置在权利要求书中公布了:1.一种清洗晶圆的喷嘴装置,其特征在于,包括:混合块,所述混合块的顶部设置有介质入口,所述混合块的侧壁设置有气体入口,所述混合块的底部设置有清洗出口;所述介质入口连接有第一接头,所述第一接头的尾端连接有介质管路;所述气体入口连接有第二接头,所述第二接头的“L”形,所述第二接头的竖直端向上设置,并且所述第二接头的竖直端连接有气体管路。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人创微微电子(常州)有限公司,其通讯地址为:213000 江苏省常州市新北区黄河西路790号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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