恭喜紫科装备股份有限公司覃瑞卿获国家专利权
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龙图腾网恭喜紫科装备股份有限公司申请的专利一种半导体集成电路板制程废气治理设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222777884U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-22发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420718789.3，技术领域涉及：B01D53/79；该实用新型一种半导体集成电路板制程废气治理设备是由覃瑞卿;李云飞;廖康维;黎美玲;江永健;焦丽;邵宝山设计研发完成，并于2024-04-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体集成电路板制程废气治理设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种半导体集成电路板制程废气治理设备，包括机架以及机架一侧外壁上安装的排污阀，所述机架的内部固定有喷淋罐，且所述喷淋罐的底端安装有用于供废气进入的废气进气管，所述喷淋罐的顶部转动安装有盘式中空水箱，所述盘式中空水箱顶端的中心位置处导通安装有进液管。本实用新型利用层叠式喷淋结构在喷淋罐中形成高密度、多层数的喷淋区域，且层叠式喷淋结构在带轮传动单元等部件的驱动下进行扇形摆动，该运动方式能够使喷淋液均匀地覆盖整个废气流动区域，可以确保废气中的有害物质在处理过程中得到均匀、全面的吸附和转化，减少废气处理效果的不均匀性，从而有效降低废气污染物的排放量。
本实用新型一种半导体集成电路板制程废气治理设备在权利要求书中公布了：1.一种半导体集成电路板制程废气治理设备，其特征在于：包括机架1，所述机架1的内部固定有喷淋罐2，且所述喷淋罐2的底端安装有用于供废气进入的废气进气管3，所述喷淋罐2一侧的外壁上安装有排污阀13，所述喷淋罐2的顶部转动安装有盘式中空水箱6，所述盘式中空水箱6顶端的中心位置处导通安装有进液管11,进液管11的顶端贯穿至喷淋罐2的外部并安装有电磁开关阀12，所述喷淋罐2顶端的一侧安装有用于驱动进液管11旋转的带轮传动单元10，所述盘式中空水箱6的底端等间距安装有四个层叠式喷淋结构8，所述机架1一侧的外壁上安装有和带轮传动单元10输入端电性连接的电机控制器5。
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