恭喜广州新锐光掩模科技有限公司罗嘉盈获国家专利权
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龙图腾网恭喜广州新锐光掩模科技有限公司申请的专利改善光掩模表面静电的处理方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116774518B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-22发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310761491.0，技术领域涉及：G03F1/82；该发明授权改善光掩模表面静电的处理方法是由罗嘉盈;施维;郑怀志;黄偲;张卓维;甘裕明设计研发完成，并于2023-06-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本改善光掩模表面静电的处理方法在说明书摘要公布了：本申请提供一种改善光掩模表面静电的处理方法，涉及光掩模的领域，其步骤如下：将光掩模进行高温烘烤和或等离子体表面处理；其中，高温烘烤的温度在80‑200℃，等离子体表面处理采用含氟气体。通过采用高温烘烤、等离子体表面处理或者高温烘烤加等离子体表面处理的方式对光掩模表面进行除静电，能够有效的去除光掩模表面的静电现象，使得光掩模在完成去光阻步骤后，无需等待较长时间，即可进行CD‑SEM的量测。
本发明授权改善光掩模表面静电的处理方法在权利要求书中公布了：1.一种改善光掩模表面静电的处理方法，其特征在于，步骤如下：光掩模在完成去光阻步骤后，将光掩模进行高温烘烤和或等离子体表面处理，以减少CD-SEM量测的等待时间；其中，高温烘烤的温度在80-200℃，等离子体表面处理采用含氟气体。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人广州新锐光掩模科技有限公司，其通讯地址为：510799 广东省广州市黄埔区新芯光产业园新芯光一街2号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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