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龙图腾网恭喜科磊股份有限公司申请的专利使用四硼酸锶的用于频率转换的深紫外激光器获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117546378B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-22发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202280044207.1，技术领域涉及：H01S3/10；该发明授权使用四硼酸锶的用于频率转换的深紫外激光器是由勇-霍·亚历克斯·庄;K·毛瑟;张百钢;刘学峰;J·费尔登;银英·肖-李;E·洛基诺娃设计研发完成，并于2022-11-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本使用四硼酸锶的用于频率转换的深紫外激光器在说明书摘要公布了：在激光器组合件200A、200B的最终倍频级230A、230B中使用包含协作地经配置以产生用于准相位匹配QPM的周期性结构的堆叠式四硼酸锶SrB4O7SBO晶体平板335‑1、335‑2、335‑3、335‑4的非线性晶体300，以产生具有在约180nm到200nm的范围内的波长的激光器输出光239A、239B。使用一或多个频率转换级220A、220B‑1、221B、222B对一或多个基本激光射束211A、211B进行频率加倍、降频转换及或求和，以产生具有在约360nm到400nm的范围内的对应波长的中频光212A、214B，且接着最终频率转换级130利用所述非线性晶体300来使所述中频光212A、214B的频率加倍以在高功率下产生所期望激光器输出光239A、239B。还描述并入所述激光器组合件的方法、检验系统、光刻系统及切割系统。

本发明授权使用四硼酸锶的用于频率转换的深紫外激光器在权利要求书中公布了：1.一种检验系统，其包括：光源，其经配置以产生具有在180nm与200nm之间的范围内的波长的光；及光学系统，其经配置以将所述光引导到样本上，其中所述光源包括：第一基本激光器，其经配置以产生具有对应基频的基本激光射束；一或多个中频转换级，其共同经配置以使用所述基本激光射束产生中频光，所述中频光具有相关联中频及在360nm与400nm之间的对应中间波长；最终倍频级，其经配置以使所述中频光穿过非线性晶体传递，其中所述非线性晶体包含呈堆叠式配置安置的多个四硼酸锶SBO晶体平板，使得每一第一SBO晶体平板邻近于至少一个第二SBO晶体平板，且其中所述多个SBO晶体平板协作地经配置以形成实现所述中频光的准相位匹配QPM的周期性结构，使得离开所述非线性晶体的光包含具有输出频率与在近似180nm到近似200nm的范围内的对应波长的激光器输出光。

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