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龙图腾网恭喜中国电子科技集团公司第二十四研究所申请的专利一种磁控式自动找平装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115036242B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-22发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210748789.3，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种磁控式自动找平装置是由李金龙;罗驰;张婧婧;刘家勇;钱丽曼;何桂华;龙庆;袁俊峰;侯云芳设计研发完成，并于2022-06-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种磁控式自动找平装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种磁控式自动找平装置，用于对吸头治具的吸附面进行找平，包括从下至自适应找平机构、检测控制机构以及驱动机构，自适应找平机构包括一与检测控制机构固定连接的第一磁极组件以及相对设置在第一磁极组件下方并与吸头治具可拆卸连接的第二磁极组件，第一磁极组件和第二磁极组件通以反向电流后产生一排斥力，驱动机构驱动第一磁极组件下压第二磁极组件并推动吸头治具接触、下压贴装平面，检测控制机构检测作用于贴装平面上的压力，并于该压力抵消排斥力与第二磁极组件重力的合力后控制第一磁极组件或第二磁极组件的电流反向产生一吸引力，并对第一磁极组件和第二磁极组件进行锁定，完成吸头治具的找平，找平吸头治具的吸附面水平度不再发生变化，结构稳定可靠。

本发明授权一种磁控式自动找平装置在权利要求书中公布了：1.一种磁控式自动找平装置，用于对吸头治具的吸附面进行找平，其特征在于，包括一与所述吸头治具连接的自适应找平机构、一检测控制机构、一驱动机构以及一锁定机构；所述自适应找平机构包括第一磁极组件以及一相对设置在所述第一磁极组件下方并与所述吸头治具可拆卸连接的第二磁极组件，所述第一磁极组件和第二磁极组件通以同向电流后于所述第一磁极组件和第二磁极组件间产生一排斥力，所述驱动机构用于驱动第一磁极组件下压第二磁极组件并推动所述吸头治具在接触贴装平面后对所述贴装平面持续施加一压力，所述检测控制机构用于检测所述压力，并于所述压力抵消所述排斥力与第二磁极组件的重力的合力后控制第一磁极组件或第二磁极组件的电流反向在所述第一磁极组件和第二磁极组件间产生一吸引力；所述锁定机构用于当所述第一磁极组件和第二磁极组件吸合后对第一磁极组件和第二磁极组件进行锁定。

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